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?SEC-E400J
| 氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時:閉標準 |
| 流量范圍 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
?SEC-E450J
| 氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時:閉標準 |
| 流量范圍 | 20/30 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
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