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微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)

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更新時間：2022-06-16 19:13:34瀏覽次數(shù)：280次

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唐山任氏巨源微波儀器有限公司

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所在地區(qū)：河北唐山市

聯(lián)系人：董強(qiáng) （總監(jiān)）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點：1.采用純微波加熱、～傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料，2.升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫精度高，熱慣性小

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點：
1. 采用純微波加熱、～傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料，

2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫精度高，熱慣性小。此管式爐可同時加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵，可達(dá)10^-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇，降低溫度；
8、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵擴(kuò)散泵和分子泵，真空密度計
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；

產(chǎn)品參數(shù)：

型號/model	WBMW-QXCJ4
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
功率/KW	4 (功率可調(diào))
溫度測試元件	微波場專用傳感器
控溫精度/℃	±2
加熱管材質(zhì)	石英管	高溫合金管	剛玉管
加熱溫度/℃	1200℃	1200℃	1600℃
管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm	∅45/∅35×1200，可選配，外徑∅60mm
加熱速度（）	≤200	升溫速率不限	≤50
恒溫區(qū)長度	標(biāo)配恒溫區(qū)長度100mm，恒溫去長度100mm～1000mm以上可選
溫區(qū)	可多溫區(qū)同時加熱
氣路法蘭	不銹鋼法蘭
質(zhì)量流量控制	美國Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器氣柜、氣路及各類閥門，可配套計算機(jī)自動控制系統(tǒng)及軟件
氣路數(shù)量	2路或3路（或多路）
流量范圍	0-1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定
精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時間	≤1sec
工作壓力	進(jìn)氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM
系統(tǒng)連接方式	采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
規(guī)格	高真空
系統(tǒng)真空范圍	標(biāo)準(zhǔn)大氣壓～10^-3Pa
真空泵	簡單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10^-1Pa真空用高檔機(jī)械泵及真空計 10^-2Pa真空用高檔機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計 10^-3Pa真空用高檔機(jī)械泵、分子泵及真空計
爐腔尺寸/mm	700X350X530
加熱腔(標(biāo)配)	0.5-3L 2個根據(jù)管徑、加熱區(qū)長度、加熱溫區(qū)數(shù)量確定
加熱腔大小	0.94L，2.12L，3.8L
升溫速率(標(biāo)配)	0～1000℃/min可根據(jù)實際任意設(shè)定，可編程、分段加熱
外型尺寸/mm	1500´750´1560
微波泄漏/ mW/㎝	≤0.4
提供相關(guān)配件	高溫手套×1、中文說明書×1
保質(zhì)期	整機(jī)免費(fèi)保修1年