產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	額定電壓	220V
加工定制	是	適用領(lǐng)域	科研
溫度波動(dòng)度	2℃	溫度范圍	1600℃
溫度均勻度	2%

任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無(wú)內(nèi)部電極污染等特點(diǎn)，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及CH4轉(zhuǎn)化制氫、長(zhǎng)余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

一、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無(wú)內(nèi)部電極污染等特點(diǎn)，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及CH4轉(zhuǎn)化制氫、長(zhǎng)余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾^[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 垂直反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可使等離子密度高；對(duì)稱(chēng)的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子場(chǎng)環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的工作氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對(duì)薄膜的污染。

三、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)/model	WBMW-DLZ3
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱
射頻功率/KW	3 (功率可調(diào))
工作溫度/℃	1200
*工作溫度/℃	≤1100
溫度測(cè)試元件	微波場(chǎng)傳感器/紅外測(cè)溫可選
控溫精度/℃	±2（微波場(chǎng)傳感器）
石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長(zhǎng)度)/mm	φ102/φ92x1000
真空系統(tǒng)配置（可選）	簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭； 10^-1Pa真空機(jī)械泵及真空計(jì)； 10^-2Pa真空機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì)； 10^-3Pa真空機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì)；
升溫速率(標(biāo)配)	0～1000℃/min可任意設(shè)定，可編程、分段加熱
外型尺寸(長(zhǎng)x寬x高)/mm	1000´750´1830
微波泄漏量/ mw/cm²	≤0.4
提供相關(guān)配件	防護(hù) 手套×1、中文說(shuō)明書(shū)×1
保質(zhì)期	整機(jī)免費(fèi)保修1年