任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐特點(diǎn)：1. 高溫微波化學(xué)氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時(shí)加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調(diào)。3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵，可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。

4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；

詳細(xì)介紹

一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐特點(diǎn)：

1. 高溫微波化學(xué)氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，

2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時(shí)加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調(diào)。

3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵，可達(dá)10^-3Pa真空狀態(tài)。

4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；

5、保護(hù)管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；

6、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇，降低溫度；

7、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵擴(kuò)散泵和分子泵，真空密度計(jì)

8、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；

二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品參數(shù)：

型號/model	WBMW-QXCJ4
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
微波功率/KW	4 (功率可調(diào))
溫度測試元件	微波場傳感器
控溫精度/℃	±2（微波場傳感器）
加熱管材質(zhì)	石英管	高溫合金管	剛玉管
加熱溫度/℃	1200	1200	1600
管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm	∅45/∅35×1200，可選配，大外徑∅60
加熱速度	≦200	升溫速率不限	≦50
恒溫區(qū)長度	標(biāo)配恒溫區(qū)長度100mm，恒溫去長度100mm以上可定制
溫區(qū)	可多溫區(qū)同時(shí)加熱
氣路法蘭	304不銹鋼法蘭
質(zhì)量流量控制	美國Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器氣柜、氣路及各類閥門，可配套計(jì)算機(jī)自動控制系統(tǒng)及軟件
氣路數(shù)量	2路或3路
流量范圍	0-1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定
精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	≤1sec
工作壓力	進(jìn)氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM
系統(tǒng)連接方式	采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
系統(tǒng)真空范圍	標(biāo)準(zhǔn)大氣壓～10^-3Pa
真空泵	簡單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10^-1Pa真空機(jī)械泵及真空計(jì) 10^-2Pa真空機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì) 10^-3Pa真空機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì)
爐腔尺寸/mm	700X350X530
加熱腔(標(biāo)配)	0.5-3L 2個
加熱腔大小	0.94L，2.12L，3.8L
升溫速率(標(biāo)配)	0～1000℃/min可根據(jù)實(shí)際任意設(shè)定，可編程、分段加熱
外型尺寸/mm	1500´750´1560
微波泄漏/ mw/cm²	≤0.4
提供相關(guān)配件	防護(hù)手套×1、中文說明書×1
保質(zhì)期	整機(jī)免費(fèi)保修1年