武漢奧品立儀器設(shè)備有限公司在6月份接到一家晶圓片客戶(hù)電話(huà)咨詢(xún)，第二天安排技術(shù)工程師上門(mén)交流。客戶(hù)要求一次完成晶圓厚度，R角度和外形尺寸進(jìn)行一次性測(cè)量。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，95%以上的集成電路和半導(dǎo)體器件都是在晶圓上進(jìn)行加工制作的。晶圓加工的質(zhì)量要求很高,需要對(duì)其外形尺寸、平面度等進(jìn)行精密檢測(cè)。

 針對(duì)該客戶(hù)晶圓尺寸檢測(cè)，我們采用影像測(cè)量?jī)x數(shù)字相機(jī)與光譜共焦位移傳感器一體的方案，由數(shù)字相機(jī)負(fù)責(zé)檢測(cè)外徑等平面尺寸，光譜共焦位移傳感器負(fù)責(zé)檢測(cè)晶圓平面度、厚度等尺寸。

 該方案優(yōu)勢(shì)采用光譜共焦與數(shù)字相機(jī)一體的影像測(cè)量?jī)x能夠同時(shí)測(cè)量晶圓的外形尺寸與平面度，同時(shí)數(shù)字相機(jī)搭配變倍鏡頭能夠放到30-200倍，能夠觀(guān)察晶圓表面瑕疵。放置產(chǎn)品后一次完成測(cè)量結(jié)果并導(dǎo)出報(bào)告，可以進(jìn)行SPC分析。

 武漢奧品立儀器設(shè)備有限公司的影像測(cè)量?jī)x,閃測(cè)儀，光學(xué)工具顯微鏡，3D顯微鏡，原子力顯微鏡，基于強(qiáng)大的軟硬件配置，能夠滿(mǎn)足各行各業(yè)各方面的測(cè)量需求，廣泛應(yīng)用于玻璃、機(jī)械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、精密五金、精密沖壓、家電、計(jì)算機(jī)、液晶電視、電路板PCB、汽車(chē)、醫(yī)療器械、鐘表、儀器儀表等，為各個(gè)行業(yè)提供產(chǎn)品幾何尺寸檢測(cè)技術(shù)支持，提升產(chǎn)品品控，提高競(jìng)爭(zhēng)力。