萊寶真空生產的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后，可以實現低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場合。工作原理渦輪分子泵轉子是一個帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運動......

詳細介紹

萊寶真空生產的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后，可以實現低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場合。

工作原理

渦輪分子泵轉子是一個帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。

渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進氣口法蘭定向運動到前級真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時，氣體分子的平均自由行程大于轉子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米)，分子主要與轉子葉片碰撞，所以

抽氣過程非常高效。

在粘滯流范圍，也就是壓強超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當抽速的前級真空泵。

為了使氣體分子產生定向運動，轉子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉子也要有相應的高轉速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉速大約為36000rpm，而較小直徑轉子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉速為72000rpm。

分子泵設計理念

萊寶真空針對不同應用提供基于不同軸承和轉子技術的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承，高真空端配置免維護的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上避免分子泵對腔體產生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。