萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵?？蛻舻靡娴蜏乇玫膬?yōu)勢(shì)：- 所有氣......

詳細(xì)介紹

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于

氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。

客戶得益

低溫泵的優(yōu)勢(shì)：

- 所有氣體都有高抽速

- 對(duì)水汽有的抽速

對(duì)于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢(shì)2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒有任何機(jī)械活動(dòng)

部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無烴真空

- 對(duì)外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn)：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵

- 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制

- 性價(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級(jí)冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計(jì)，請(qǐng)見以下示意圖的內(nèi)容。

一級(jí)冷頭（9）冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板（6）。

根據(jù)泵的型號(hào)和工作條件不同，達(dá)到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì)，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。

另外，熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級(jí)冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。

根據(jù)工作條件，達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮?dú)?、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級(jí)冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。

Leybold COOLVAC低溫泵示意圖.JPG

COOLVAC制冷機(jī)低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設(shè)置，過壓150mbar（113托）時(shí)打開。

為了保證在安全閥動(dòng)作時(shí)，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi)，飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度，由前級(jí)真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體（例如氮?dú)猓┘訜岬蜏貐^(qū)到室溫。此情況下，由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。

多臺(tái)低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大，可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小

萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級(jí)和二級(jí)冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出，也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè)

被釋放：

-　吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、　氦氣、氖氣）

-　冷凝在冷傘上的氣體（例如氮?dú)?、?氧氣、氬氣）

-　冷凝在障板和熱輻射防護(hù)屏上的氣　體和蒸汽（例如水蒸汽）

萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類的氣體在泵內(nèi)同時(shí)存在，從根本上排除了可燃混合氣形成的可能。

加溫過程為全自動(dòng)，泵內(nèi)的壓強(qiáng)和溫度分布，始終由控制系統(tǒng)確定和控制，從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。

萊寶真空的低溫泵分自然再生（BL）和全自動(dòng)加熱再生（iCL）兩個(gè)系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單品以對(duì)氮?dú)獬樗倜▎挝籰/s），如COOLVAC 1500 iCL對(duì)氮?dú)獾某樗贋?500l/s?？商峁?500到60000l/s的全系列產(chǎn)

品。

在報(bào)價(jià)清單上，泵名稱帶有符號(hào)“V"的：“V"表示高真空接口位于上端，冷頭在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。

3.　特殊低溫泵

萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供特制低溫泵，如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細(xì)信息請(qǐng)和垂詢安博元真空。

更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

低溫泵的優(yōu)勢(shì)：

- 所有氣體都有高抽速

- 對(duì)水汽有的抽速

對(duì)于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢(shì)2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒有任何機(jī)械活動(dòng)

部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無烴真空

- 對(duì)外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn)：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵

- 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制

- 性價(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

客戶得益

- 無烴高真空

- 抽氬氣和氮?dú)饽芰?qiáng)

- 切入閾值高

- 操作簡(jiǎn)單

- 易于整合到復(fù)雜系統(tǒng)

- 全自動(dòng)再生

- 維修簡(jiǎn)單

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典型應(yīng)用

- 蒸發(fā)器

- 濺射系統(tǒng)

- 離子注入機(jī)

- 光學(xué)鍍膜機(jī)

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技術(shù)參數(shù)						COOLVAC
			5000 iCL					10000iCL
高真空（HV）法蘭			DN		400 ISO-K			500 ISO-K
前級(jí)真空法蘭			DN		40 KF			40 KF
連接真空計(jì)的法蘭			DN		16 KF			16 KF
電氣連接法蘭			DN		40 KF			40 KF
帶排氣管接頭的 DN 40 KF法蘭的安全閥			DN		40 KF			40 KF
４針穿通密封接口（連接測(cè)溫硅二級(jí)管）			DN		16 KF			16 KF
加熱器一級(jí) 二級(jí)			W V ACW V AC		160 42 90 42			160 42 90 42
溫度傳感器一級(jí)二級(jí)					Pt100硅二級(jí)管			Pt100硅二級(jí)管
內(nèi)置冷頭			COOLPOWER		5/100			5/100
重量			kg (lbs)		42 (92 7)			50 (110 4)
到T2	= 20 K的冷卻時(shí)間		min		100			150
切入閾值			mbar x l (Torr x l)		700 (525)			800 (600)
抽速水汽氬氣/氮?dú)?氫氣			l x s-1l x s-1l x s-1		18000 4000 /			30000 8400 / 10000 10000
容量氬氣/氮?dú)?10-6 mbar時(shí)氫氣			bar x l bar x l		3000 / 3000 32			5500 / 5500 45
氣載量氬氣/氮?dú)?氫氣		mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)			10 (7 5) / 10 (7 5) 7(5 3)		10 (7 5) / 10 (7 5) 7 (5 3)
氦接口（自密封接頭：外螺紋，5400-S2-8型）				DN	1/2"		1/2

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訂貨信息	COOLVAC 5000 iCL		COOLVAC 10000 iCL
	歐洲美國(guó)/日本		歐洲美國(guó)/日本
		產(chǎn)品號(hào)		產(chǎn)品號(hào)
COOLVAC 5000 iCL，DN 400 ISO-K 10000 iCL，20" ANSI 10000 iCL，DN 500 ISO-K		844411V0006 – –		– 844511V0004 844511V0006