TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應用- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝- 進樣室，轉(zhuǎn)移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統(tǒng)技術(shù)特點- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控- 噪聲和振動低- 任意方向安裝- *的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高......

詳細介紹

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

技術(shù)特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- *的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量較輕，尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

技術(shù)特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- *的轉(zhuǎn)子設計，實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量輕，尺寸小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

典型應用

- 半導體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG W 1500 CT
進氣口		DN	200 ISO-F	250 ISO-F	200 CF
PNEUROP的抽速
氮氣		I x s-1	1100	1220	1100
氬氣		I x s-1	1050	1180	1050
氦氣		I x s-1	1100	1200	1100
氫氣		I x s-1	920	1020	920
額定轉(zhuǎn)速		min-1	36 000	36 000	36 000
壓縮比
氮氣			> 108	> 108	> 108
極限壓強，根據(jù) DIN 28 400
		mbar (Torr)	< 10-8 (< 0 75 x 10-8)	< 10-8 (< 0 75 x 10-8)	< 10-10 (< 0 75 10-10)
前級耐壓（對氮氣）		mbar (Torr)	2 6 (1 95)	2 6 (1 95)	2 6 (1 95)
推薦的前級泵
抽速達100m3/h的旋片泵或干泵			TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS
啟動時間
達95%名義轉(zhuǎn)度時	min		< 6	< 6	< 6
出氣口外形尺寸	DN		40 ISO-KF	40 ISO-KF	40 ISO-KF
吹掃和破空口	VCR		1/4"	1/4"	1/4"
冷卻水接口
（管道外徑）	mm (in )		6 4 (0 25)	6 4 (0 25)	6 4 (0 25)
重量（近似）	kg (lbs)		32 (70 6)	32 (70 6)	32 (70 6)