TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵TURBOVAC MAG系列TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 320mm(12.......

詳細介紹

TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵

TURBOVAC MAG系列

TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 320mm(12.6in.))不等。

TURBOVAC MAG泵較常用于半導(dǎo)體工業(yè)，例如蝕刻、CVD、PVD和離子注入，也就是需要抽除腐蝕性氣體的應(yīng)用條件。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵是集現(xiàn)代真空科技之大成的新產(chǎn)品！

它設(shè)計精良，性能優(yōu)異，可靠耐用是高真空應(yīng)用的睿智選擇。新的主動定位五軸磁懸浮技術(shù)與萊寶真空專有抗沖擊設(shè)計相結(jié)合，保證了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁懸浮分子泵無磨損的優(yōu)勢又延續(xù)了萊寶分子泵耐沖擊的一貫特性。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵適合短節(jié)拍大氣載的應(yīng)用，可幫助客戶縮短工藝節(jié)拍，提高工作效率。非常適合電子顯微鏡，玻璃鍍膜、工業(yè)和科研等應(yīng)用。

TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- 無碳氫化合物，可以實現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；

- 任何安裝方向都具有高性能

- 運行高度可靠

- 振動極低

- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體

- 免維護

典型應(yīng)用

- 氣體分析系統(tǒng)

- 粒子加速器

- 電子顯微鏡

- 科研

- 鍍膜設(shè)備

技術(shù)特點

- 任意方向安裝

- ISO-K或CF高真空接口

- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）

- 可選擇水冷或風(fēng)冷

- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求

- 標(biāo)準(zhǔn)9針24 V SPS，PLC接口

- RS 232 C，維護接口

- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C

客戶得益

- 尺寸可能較小，抽速較高

- 免維護

- 適合用于分析儀器、薄膜技術(shù)、電子顯微鏡、科研領(lǐng)域?qū)φ駝用舾械膽?yīng)用場合

- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器

- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- 無碳氫化合物，可以實現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；

- 任何安裝方向都具有高性能

- 運行高度可靠

- 振動極低

- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體

- 免維護

技術(shù)特點

- 任意方向安裝

- ISO-K或CF高真空接口

- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）

- 可選擇水冷或風(fēng)冷

- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求

- 標(biāo)準(zhǔn)9針24 V SPS，PLC接口

- RS 232 C，維護接口

- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C

客戶得益

- 尺寸可能較小，抽速較高

- 免維護

- 適合用于分析儀器、薄膜技術(shù)、電子顯微鏡、科研領(lǐng)域?qū)φ駝用舾械膽?yīng)用場合

- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器

- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

典型應(yīng)用

- 氣體分析系統(tǒng)

- 粒子加速器

- 電子顯微鏡

- 科研

- 鍍膜設(shè)備

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技術(shù)參數(shù)				TURBOVAC MAG
	W 600 iP					W 700 iP
進氣口法蘭	DN	160 ISO-K	160 CF		200 ISO-K		200 CF
抽速氮氣氬氣氦氣氫氣	I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1	550 520 570 410	550 520 570 410		590 540 600 430		590 540 600 430
轉(zhuǎn)速	min-1	48 000	48 000		48 000		48 000
壓縮比氮氣氫氣氦氣		1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106	1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106		1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106		1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106
極限壓強	mbar (Torr)	< 10-8 (< 0 75 x 10-8)	< 10-10 (< 0 75 x 10-10)		< 10-8 (< 0 75 x 10-8)		< 10-10 (< 0 75 x 10-10)
高除氣溫度	°C (°F)	–	80 (176)		–		80 (176)
前級管道壓強，對于氮氣	mbar (Torr)	6 0 (4 5)	6 0 (4 5)		6 0 (4 5)		6 0 (4 5)
推薦的前級泵		TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B	TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B		TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B		TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B
加速時間	min	< 6	< 6		< 6		< 6
前級管道法蘭(卡簧式)	DN	25 ISO-KF	25 ISO-KF		25 ISO-KF		25 ISO-KF
吹掃/破空端口 (卡簧式)	DN	16 ISO-KF	16 ISO-KF		16 ISO-KF		16 ISO-KF
水冷接口尺寸(可選)	G	1/8"	1/8"		1/8"		1/8"
重量	kg (lbs)	17 (37 5)	17 (37 5)		17 (37 5)		17 (37 5)