秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長(zhǎng)使用壽命等優(yōu)點(diǎn)，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導(dǎo)體、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過(guò)程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質(zhì)檢測(cè)工藝氣體提高品質(zhì)和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產(chǎn)品類(lèi)別nbsp;nbsp; 產(chǎn)品系列分別提供了100、20......

詳細(xì)介紹

真空系統(tǒng)泄漏示意圖-安博元

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:

檢漏
判斷真空品質(zhì)
檢測(cè)工藝氣體
提高品質(zhì)和良品率
故障診斷分析
判斷低溫泵再生周期

產(chǎn)品類(lèi)別

產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。

LEYSPEC view版特別適用于高真空設(shè)備，科研、環(huán)境氣氛檢測(cè)及追蹤中的殘余氣體分析。
LEYSPEC ultra版用于復(fù)雜的殘余氣體分析，靈敏度高，耐烘烤溫度高，可檢分壓低。

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安博元科技無(wú)錫有限公司

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萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶(hù)受益：

過(guò)程可控
LEYSPEC自帶數(shù)顯，易于現(xiàn)場(chǎng)管理
贈(zèng)送軟件易于使用及分析并有報(bào)警功能

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
鍍膜、顯示行業(yè)
真空熱處理
真空干燥
研發(fā)

Leybold Name	LEYSPEC view 100	LEYSPEC view 100S	LEYSPEC view 200	LEYSPEC view 200S	LEYSPEC ultra 200S	LEYSPEC ultra 300S
Mass Range (amu)	1-100	1-100	1-200	1-200	1-200	1-300
Mass filter type	QMS	QMS	QMS	QMS	QMS	QMS
detector type	Faraday cup	EM/Faraday Cup	Faraday cup	EM/Faraday Cup	EM/Faraday Cup	EM/Faraday Cup
Sensitivity (A/mbar)	1x10-5	400/1x10-5	1x10-5	400/1x10-5	400/2.5x10-4	400/2.5x10-4
Minimum detectable partial pressure (mbar)	1x10-10	1x10-14	1x10-10	1x10-14	1x10-11	1x10-12
Max operating pressure (mbar)	1x10-4	1x10-4	1x10-4	1x10-4	1x10-4	1x10-4
Filament material	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3
operating temp (°C)	10-40	10-40	10-40	10-40	10-40	10-40
Max sensing temp (°C)	120	120	120	120	250	250
Max. bake out temp (elec. removed) (°C)	250	250	250	250	300	300
connection flange	DN40CF	DN40CF	DN40CF	DN40CF	DN40CF	DN40CF
Power input	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W
Weight (kg)	2,6	2,84	2,6	2,84	3,21	3,21
IP	30	30	30	30	30	30
Serial communication	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485
Software	ECA	ECA	ECA	ECA	ECA	ECA
Resolution	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)