IGBT功率半導(dǎo)體器件主要測(cè)試參數(shù)

    近年來IGBT成為電力電子領(lǐng)域中尤為矚目的電力電子器件,并得到越來越廣泛的應(yīng)用,那么IGBT的測(cè)試就變的尤為重要了。lGBT的測(cè)試包括靜態(tài)參數(shù)測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試、功率循環(huán)、HTRB可靠性測(cè)試等,這些測(cè)試中最基本的測(cè)試就是靜態(tài)參數(shù)測(cè)試。

    IGBT靜態(tài)參數(shù)主要包含:柵極-發(fā)射極閾值電壓VGE(th)、柵極-發(fā)射極漏電流lGEs、集電極-發(fā)射極截止電流lcEs、集電極-發(fā)射極飽和電壓VcE(sat)、續(xù)流二極管壓降VF、輸入電容Ciss、輸出電容Coss、反向傳輸電容Crsso只有保證IGBT的靜態(tài)參數(shù)沒有問題的情況下,才進(jìn)行像動(dòng)態(tài)參數(shù)(開關(guān)時(shí)間、開關(guān)損耗、續(xù)流二極管的反向恢復(fù))、功率循環(huán)、HTRB可靠性方面進(jìn)行測(cè)試。

IGBT功率半導(dǎo)體器件測(cè)試難點(diǎn)

    IGBT是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件,兼有高輸入阻抗和低導(dǎo)通壓降兩方面的優(yōu)點(diǎn);同時(shí)IGBT芯片屬于電力電子芯片,需要工作在大電流、高電壓、高頻率的環(huán)境下,對(duì)芯片的可靠性要求較高。這給IGBT測(cè)試帶來了一定的困難:

1、IGBT是多端口器件,需要多種儀表協(xié)同測(cè)試;2、IGBT的漏電流越小越好,需要高精度的設(shè)備進(jìn)行測(cè)試;

3、IGBT的電流輸出能力很強(qiáng),測(cè)試時(shí)需要快速注入1000安級(jí)電流,并完成壓降的采樣;

4、lGBT耐壓較高,一般從幾千到一萬伏不等,需要測(cè)量?jī)x器具備高壓輸出和高壓下納安級(jí)漏電流測(cè)試的能力;

5、由于IGBT工作在強(qiáng)電流下,自加熱效應(yīng)明顯，嚴(yán)重時(shí)容易造成器件燒毀,需要提供us級(jí)電流脈沖信號(hào)減少器件自加熱效應(yīng);

6、輸入輸出電容對(duì)器件的開關(guān)性能影響很大,不同電壓下器件等效結(jié)電容不同,C-V測(cè)試十分有必要。

普賽斯半導(dǎo)體分立器件靜態(tài)測(cè)試儀解決方案

   普賽斯IGBT功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),集多種測(cè)量和分析功能一體,可以精準(zhǔn)測(cè)量IGBT功率半導(dǎo)體器件的靜態(tài)參數(shù),具有高電壓和大電流特性、uQ級(jí)精確測(cè)量、納安級(jí)電流測(cè)量能力等特點(diǎn)。支持高壓模式下測(cè)量功率器件結(jié)電容,如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。

圖5:IGBT測(cè)試系統(tǒng)圖

    普賽斯半導(dǎo)體分立器件靜態(tài)測(cè)試儀配置由多種測(cè)量單元模塊組成,系統(tǒng)模塊化的設(shè)計(jì)能夠極大方便用戶添加或升級(jí)測(cè)量模塊,適應(yīng)測(cè)量功率器件不斷變化的需求。

“雙高"系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)

    高電壓、大電流

    具有高電壓測(cè)量/輸出能力,電壓高達(dá)3500V(最大可擴(kuò)展至10kV)

    具有大電流測(cè)量/輸出能力,電流高達(dá)6000A(多模塊并聯(lián))

    高精度測(cè)量

    納安級(jí)漏電流,  μΩ級(jí)導(dǎo)通電阻

    0.1%精度測(cè)量

    模塊化配置

    可根據(jù)實(shí)際測(cè)試需要靈活配置多種測(cè)量單元系統(tǒng)預(yù)留升級(jí)空間,后期可添加或升級(jí)測(cè)量單元

    測(cè)試效率高

    內(nèi)置專用開關(guān)矩陣,根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目自動(dòng)切換電路與測(cè)量單元

    支持國(guó)標(biāo)全指標(biāo)的一鍵測(cè)試

    擴(kuò)展性好

    支持常溫及高溫測(cè)試可靈活定制各種夾具

“魔方"式的系統(tǒng)組成

   普賽斯IGBT功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),主要由測(cè)試儀表、上位機(jī)軟件、電腦、矩陣開關(guān)、夾具、高壓及大電流信號(hào)線等構(gòu)成。整套系統(tǒng)采用普賽斯自主開發(fā)的靜態(tài)測(cè)試主機(jī),內(nèi)置多種電壓、電流等級(jí)的測(cè)量單元。結(jié)合自主開發(fā)的上位機(jī)軟件控制測(cè)試主機(jī),可根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目需要,選擇不同的電壓、電流等級(jí),以滿足不同測(cè)試需求。

   系統(tǒng)主機(jī)的測(cè)量單元,主要包括普賽斯P系列高精度臺(tái)式脈沖源表、HCPL系列高電流脈沖電源、E系列高壓源測(cè)單元、C-V測(cè)量單元等。其中,P系列高精度臺(tái)式脈沖源表用于柵極驅(qū)動(dòng)與測(cè)試使用,最大支持30V@10A脈沖輸出與測(cè)試;HCPL系列高電流脈沖電源用于集電極、發(fā)射極之間電流測(cè)試及續(xù)流二極管的測(cè)試,15us的超快電流上升沿,自帶電壓采樣,單設(shè)備支持最大1000A脈沖電流輸出;E系列高壓源測(cè)單元用于集電極、發(fā)射極之間電壓、漏電流測(cè)試,最高支持3500V電壓輸出,并且自帶電流測(cè)量功能。系統(tǒng)的電壓、電流測(cè)量單元,均采用多量程設(shè)計(jì),精度為0.1%。

國(guó)標(biāo)全指標(biāo)的“一鍵"測(cè)試項(xiàng)目

   普賽斯現(xiàn)在可以提供完整的IGBT芯片和模塊參數(shù)的測(cè)試方法,可以輕松實(shí)現(xiàn)靜態(tài)參數(shù)l-V和C-V的測(cè)試，最終輸出產(chǎn)品Datasheet報(bào)告。這些方法同樣適用于寬禁帶半導(dǎo)體SiC和GaN功率器件。

半導(dǎo)體分立器件靜態(tài)測(cè)試儀夾具方案

   針對(duì)市面上不同封裝類型的IGBT產(chǎn)品,普賽斯提供整套夾具解決方案,可用于TO單管、半橋模組等產(chǎn)品的測(cè)試。

    普賽斯以自主研發(fā)為導(dǎo)向,深耕半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，在I-V測(cè)試上積累了豐富的經(jīng)驗(yàn),先后推出了直流源表、脈沖源表、高電流脈沖源表、高電壓源測(cè)單元等測(cè)試設(shè)備,廣泛應(yīng)用于高校研究所、實(shí)驗(yàn)室、新能源、光伏、風(fēng)電、軌交、變頻器等場(chǎng)景。