單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理

壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。

當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。

穩(wěn)定性

數(shù)字、智能:6個月，±0.1%URL經(jīng)濟型絕壓變送器
模擬、線性:6個月，±0.2%URL

折疊環(huán)境溫度影響

數(shù)字、智能: 零點誤差:±0.1%URL/56℃ 總體誤差:±(0.2%URL+0.18%校驗量程)/56℃
模擬、線性 零點誤差:±0.1%URL/56℃ 總體誤差:±(0.5%URL+0.5%校驗量程)/56℃振動影響 在任意軸向上，200Hz下振動影響為±0.05%URL/g電源影響 小于±0.005%輸出量程/伏特。

折疊負載影響

沒有負載影響，除非電源電壓有變化。電磁干擾/射頻干擾(EMI/RFI影響) 由20至1000MHz，場強達至30V/M時，輸出漂移小于±0.1%量程。

折疊安裝位置影響

零點漂移至多為±0.25kPa。所有的零點漂移 都可修正掉;對量程無影響。