Setra西特225超高純壓力變送器·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
·氣柜
Setra西特225超高純壓力變送器·專門設(shè)計用于半
導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工
作、高吞吐量和超高*穩(wěn)定性的控制應(yīng)用于高純度氣體輸送系統(tǒng)·半導(dǎo)體過程工具,氣柜
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)
用于零點和量程微調(diào)的 12 圈電位計。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /
內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，
該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。 GCT-225 系列產(chǎn)品
提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，可使用
六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進(jìn)行電氣
連接。

特性

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PS
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·堅固耐用，*安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險區(qū)域
·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用

GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技
術(shù)，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣
電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，
隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，
并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。 Setra *的定
制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/
RFI 干擾。
在制造和裝配完成后， Setra 超高純壓力變送器還要接受
去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣
充注和密封等處理，蕞后才發(fā)貨。
注 ： Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù) ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品
的標(biāo)定具有 NIST 可追蹤性，美國磚利號。