精品一区二区国语对白,国产成人精品三上悠亚久久,欧美性猛交xxxx88,亚洲中文字幕国产av,极品少妇被猛得白浆直流草莓视频,91精品成人www

行業(yè)資訊行業(yè)財報市場標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)新品會議盤點政策本站速遞

微電子所n型垂直納米器件研究取得進展

儀表研發(fā) 2021年09月15日 14:18:51來源:微電子研究所 18676
摘要垂直納米環(huán)柵晶體管因其在減小標(biāo)準(zhǔn)單元面積、提升性能和改善寄生效應(yīng)等方面具有優(yōu)勢,可滿足功耗、性能、面積和成本等設(shè)計要求。

  【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】垂直納米環(huán)柵晶體管因其在減小標(biāo)準(zhǔn)單元面積、提升性能和改善寄生效應(yīng)等方面具有優(yōu)勢,可滿足功耗、性能、面積和成本等設(shè)計要求,已成為2nm及以下技術(shù)節(jié)點芯片的重點研發(fā)方向。
 
  中國科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心研究員朱慧瓏團隊研發(fā)出p型具有自對準(zhǔn)柵極的疊層垂直納米環(huán)柵晶體管(IEEE Electron Device Letters,DOI: 10.1109/LED.2019.2954537,2019),并剖析n型器件。與p型器件制備工藝不同,n型器件在外延原位摻雜時,溝道和源漏界面處存在嚴(yán)重的雜質(zhì)分凝與自摻雜問題。為此,團隊開發(fā)出適用于垂直器件的替代柵工藝,利用假柵做掩模通過離子注入實現(xiàn)源漏的摻雜,既解決了上述外延原位摻雜難題,又突破了原位摻雜的固溶度極限,更利于對晶體管內(nèi)部結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和不同類型晶體管之間的集成。
 
  為獲得可精確控制溝道和柵極尺寸的垂直環(huán)柵器件,選擇性和各向同性的原子層刻蝕方法是關(guān)鍵工藝??蒲袌F隊對該方法開展了深入分析和研究,提出了相應(yīng)的氧化—刻蝕模型,應(yīng)用于實驗設(shè)計,改進和優(yōu)化了橫向刻蝕工藝;用該刻蝕工藝與假柵工藝結(jié)合,制備出具有自對準(zhǔn)柵的n型疊層垂直納米環(huán)柵晶體管,器件柵長為48納米,具有優(yōu)異的短溝道控制能力和較高的電流開關(guān)比(Ion/Ioff),納米線器件的亞閾值擺幅(SS)、漏致勢壘降低(DIBL)和開關(guān)比為67 mV/dec、14 mV和3×105;納米片器件的SS、DIBL和開關(guān)比為68 mV/dec、38 mV和1.3×106。
 
  相關(guān)研究成果發(fā)表在Nano Letters(DOI: 10.1021/acs.nanolett.1c01033)、ACS Applied Materials & Interfaces(DOI: 10.1021/acsami.0c14018)上。研究得到中科院戰(zhàn)略先導(dǎo)科技專項(先導(dǎo)預(yù)研項目“3-1納米集成電路新器件與先導(dǎo)工藝”)、中科院青年創(chuàng)新促進會、國家自然科學(xué)基金等的資助。

我要評論
文明上網(wǎng),理性發(fā)言。(您還可以輸入200個字符)

所有評論僅代表網(wǎng)友意見,與本站立場無關(guān)。

版權(quán)與免責(zé)聲明
  • 凡本網(wǎng)注明"來源:儀表網(wǎng)"的所有作品,版權(quán)均屬于儀表網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明"來源:儀表網(wǎng)"。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或證實其內(nèi)容的真實性,不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品來源,并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
  • 合作、投稿、轉(zhuǎn)載授權(quán)等相關(guān)事宜,請聯(lián)系本網(wǎng)。聯(lián)系電話:0571-87759945,QQ:1103027433。
廣告招商
今日換一換
新發(fā)產(chǎn)品更多+

客服熱線:0571-87759942

采購熱線:0571-87759942

媒體合作:0571-87759945

  • 儀表站APP
  • 微信公眾號
  • 儀表網(wǎng)小程序
  • 儀表網(wǎng)抖音號
Copyright ybzhan.cn    All Rights Reserved   法律顧問:浙江天冊律師事務(wù)所 賈熙明律師   儀表網(wǎng)-儀器儀表行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺
意見反饋
我知道了
项城市| 栾城县| 洛扎县| 来宾市| 渝北区| 岑巩县| 荃湾区| 刚察县| 宁乡县| 棋牌| 汤原县| 天峻县| 望都县| 台安县| 铜陵市| 营口市| 中江县| 崇明县| 扶绥县|