【儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】近日，上海計(jì)量院機(jī)械制造所成功申報(bào)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專(zhuān)項(xiàng)兩項(xiàng)。
 

　　“硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無(wú)損測(cè)量技術(shù)”是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)，項(xiàng)目由南京理工大學(xué)牽頭申報(bào)，上海計(jì)量院與浙江大學(xué)、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所作為主要課題負(fù)責(zé)單位參與申報(bào)，上海計(jì)量院負(fù)責(zé)課題三“測(cè)量系統(tǒng)的量值溯源、校準(zhǔn)與誤差補(bǔ)償”。項(xiàng)目將研制硅基MEMS高深寬比結(jié)構(gòu)的智能化快速無(wú)損測(cè)量系統(tǒng)，通過(guò)專(zhuān)用工藝線接口，實(shí)現(xiàn)在超凈環(huán)境下3種工藝線上的驗(yàn)證測(cè)量。
 

　　“跨尺度微納米三坐標(biāo)測(cè)量基礎(chǔ)理論與技術(shù)”是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)，項(xiàng)目由合肥工業(yè)大學(xué)牽頭申報(bào)，上海計(jì)量院與哈爾濱工業(yè)大學(xué)、304所、中科院微電子所、中國(guó)計(jì)量大學(xué)作為主要課題負(fù)責(zé)單位參與申報(bào)，上海計(jì)量院負(fù)責(zé)課題三“非接觸納米定位技術(shù)”。項(xiàng)目將研究三維納米位移和定位的測(cè)量理論與技術(shù)，研制高分辨力三維組合納米測(cè)頭、微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)樣機(jī)，在精密微型零件加工和微納制造領(lǐng)域進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。
 

　　國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃事關(guān)產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力、整體自主創(chuàng)新能力和國(guó)家安全的重大科學(xué)技術(shù)問(wèn)題，旨在突破國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展主要領(lǐng)域的技術(shù)瓶頸。上海計(jì)量院此次的成功申報(bào)，無(wú)論在項(xiàng)目的質(zhì)量和數(shù)量上，還是在研究?jī)?nèi)容、經(jīng)費(fèi)規(guī)模及合作上都有創(chuàng)新和突破。上海計(jì)量院將打破原有思維模式，積極探索跨行業(yè)、跨單位、跨部門(mén)的科技項(xiàng)目合作模式，聯(lián)合國(guó)內(nèi)著名高校、科研院所和協(xié)同創(chuàng)新，全力以赴建設(shè)與上海張江綜合性國(guó)家科學(xué)中心相適應(yīng)的質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)平臺(tái)。