【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】經(jīng)專家審定通過，湖北省市場監(jiān)督管理局?jǐn)M批準(zhǔn)發(fā)布《集成電路測試系統(tǒng)加載板校準(zhǔn)規(guī)范》等33項(xiàng)湖北省計(jì)量技術(shù)規(guī)范，現(xiàn)將相關(guān)規(guī)范(具體名單及報(bào)批稿詳見附件)予以公示，如有不同意見，請于2024年4月15日前反饋省市場監(jiān)管局計(jì)量處，郵箱:609010401@qq.com。
| 擬發(fā)布湖北省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范名單 | ||
| 序號 | 主要起草單位 | 申報(bào)項(xiàng)目名稱 |
| 1 | 中國船舶集團(tuán)有限公司第七〇九研究所 | 集成電路測試系統(tǒng)加載板校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 2 | 晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)方法（片上標(biāo)準(zhǔn)電阻法） | |
| 3 | 晶圓測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 4 | 氧化層膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 5 | 數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 6 | 200Mbps～4Gbps數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)時(shí)間參數(shù)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 7 | 線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 8 | 國防科技工業(yè)弱磁一級計(jì)量站 | 磁屏蔽室校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 9 | 中國船舶第719所 | 基于點(diǎn)源法的固定式X、г輻射監(jiān)測儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 10 | 湖北航天計(jì)量測試技術(shù)研究所 | 電子防潮柜濕度、溫度偏差校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 11 | 固體運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)控制裝置校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 12 | 蔡恩杯粘度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 13 | 武漢地震計(jì)量檢定與測量工程中心 | 地磁經(jīng)緯儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 14 | 垂線觀測儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 15 | 影像測量RTK接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 16 | 襄陽航泰動(dòng)力機(jī)器廠 | 萬能分度頭校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 17 | 湖北省計(jì)量測試技術(shù)研究院 | 毛細(xì)管塞式比重瓶校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 18 | 加壓流體萃取儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 19 | 遮陽系數(shù)測定儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 20 | 鉆孔電視成像儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 21 | 罐內(nèi)涂膜完整性測試儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 22 | 雷擊計(jì)數(shù)器校驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 23 | 管線金屬定位儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 24 | 真耳分析儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 25 | 電梯綜合測試儀校準(zhǔn)規(guī)范 | |
| 26 | 武漢市計(jì)量測試檢定（研究）所 | 建筑幕墻物理性能檢測裝置校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 27 | 十堰市計(jì)量檢定測試所 | 低溫保存箱校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 28 | 湖北省生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心站 | 氣相分子吸收光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 29 | 宜昌市計(jì)量所 | 分散控制系統(tǒng)/可編程邏輯控制器（模擬信號輸入）校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 30 | 湖北交投智能檢測股份有限公司 | 瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 31 | 武漢地震計(jì)量檢定與測量工程中心 | 監(jiān)測型GNSS接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 32 | 湖北省計(jì)量測試技術(shù)研究院 | 聲學(xué)和振動(dòng)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器校準(zhǔn)規(guī)范 |
| 33 | 大變形引伸計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范 | |
《磁屏蔽室校準(zhǔn)規(guī)范》
磁屏蔽室是由高導(dǎo)磁材料(坡莫合金、硅鋼等)制作成閉合的腔體。外部干擾磁場的磁通量絕大部分會沿著高導(dǎo)磁材料制成的腔體壁通過，進(jìn)入腔體內(nèi)部的磁通量很少，這樣就在腔體內(nèi)部一定范圍內(nèi)形成近零磁空間，用于屏蔽恒定磁場及交變磁場。磁屏蔽室按照材料分類主要有坡莫合金磁屏蔽室、硅鋼磁屏蔽室、純鐵磁屏蔽室及各種材料相互組合建造的磁屏蔽室。磁屏蔽室一般有長方體、近似球體或橢球體等形狀。
本規(guī)范依據(jù)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、 JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范是首次制定的湖北省計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范。本規(guī)范適用于對新制造的、新購置的、使用中和修理后的最大屏蔽系數(shù)不超過120dB(不大于1kHz)磁屏蔽室的校準(zhǔn)。屏蔽系數(shù)大于120dB、頻率1kHz～100kHz的屏蔽室的校準(zhǔn)可參照執(zhí)行。
《瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范》
瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀是用于測定瀝青混合料高溫抗車轍能力的專用設(shè)備，根據(jù)效率功能分為單路、多路兩種類型，工作原理是在規(guī)定溫度條件下，車轍儀控制車轍試驗(yàn)機(jī)的試驗(yàn)輪給試件加載一定荷載，測定試件在試驗(yàn)輪往返行走一定次數(shù)情況下所形成的車轍變形速率。車轍儀由車轍試驗(yàn)機(jī)和恒溫室組成，其中車轍試驗(yàn)機(jī)包括試驗(yàn)輪、試驗(yàn)輪支架、滑動(dòng)板、加載裝置、配重、立柱、位移傳感器、曲柄連桿、運(yùn)行導(dǎo)軌、變速器、試驗(yàn)臺等。恒溫室包括保溫層、溫度控制傳感器、溫度循環(huán)系統(tǒng)等。車轍儀(多路)包含多個(gè)車轍試驗(yàn)機(jī)，多個(gè)車轍試驗(yàn)機(jī)為聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)，可同時(shí)進(jìn)行多組車轍試驗(yàn)。
JJF 1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀的校準(zhǔn)，其他類似的瀝青混合料車轍試驗(yàn)儀可以參照本規(guī)范校準(zhǔn)。
《氣相分子吸收光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范》
氣相分子吸收光譜儀是采用氣相分子吸收光譜法進(jìn)行定量分析的儀器。其工作原理基于朗伯-比爾定律：將被測組分通過化學(xué)反應(yīng)轉(zhuǎn)化為氣體(如分析氨氮時(shí)將被測組分氧化為亞硝酸鹽氮后再轉(zhuǎn)化為二氧化氮)，該氣體接受特定波長的光輻射產(chǎn)生相應(yīng)的分子振動(dòng)吸收，在一定范圍內(nèi)對光的吸收程度與其濃度成正比，計(jì)算得出被測組分的含量。
氣相分子吸收光譜儀主要由進(jìn)樣單元、反應(yīng)單元、氣體吸收池、光電檢測單元和數(shù)據(jù)處理單元組成。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》和JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范主要參考了GB/T 42027—2022《氣相分子吸收光譜儀》的相關(guān)內(nèi)容。
本規(guī)范系首次發(fā)布。本規(guī)范適用氣相分子吸收光譜儀的校準(zhǔn)。
《蔡恩杯黏度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》
蔡恩杯黏度計(jì)為流出型黏度計(jì)，主要用于實(shí)驗(yàn)室，車間等環(huán)境下，快速測量黏度或調(diào)節(jié)多種不同流體的黏度。其工作原理是利用試樣在自身重力的作用下產(chǎn)生流動(dòng)，以一定量的試樣在一定的溫度下從黏度計(jì)中流出的時(shí)間來描述試樣的黏度。它為圓柱形、球形底，配有較長提手，按其底部開有的小孔的尺寸分為5個(gè)型號，合成一套，分別測量不同黏度的產(chǎn)品，測定的范圍為(5～1800)mm2/s。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于蔡恩杯黏度計(jì)的校準(zhǔn)。
《電子防潮柜濕度、溫度偏差校準(zhǔn)規(guī)范》
電子防潮柜的工作原理主要是利用化學(xué)高分子吸濕、半導(dǎo)體冷凝吸濕和氮?dú)獬凉竦确绞?，使防潮柜?nèi)濕度降低，通過控制器將防潮柜濕度穩(wěn)定在設(shè)定的濕度值。電子防潮柜廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、細(xì)小料粒產(chǎn)品、藥材，矽圓晶片、液晶玻璃基片、光學(xué)膠片及鏡片、石英振動(dòng)器、精密儀器儀表等貯存。根據(jù)濕度范圍，分為中濕段、低濕段和超低濕段。中濕段一般控制不潮濕，相對濕度能達(dá)到30%，低濕段控制在20%以下，超低濕則可以達(dá)到10%以下。
電子防潮柜除濕度可調(diào)外，溫度控制有不可調(diào)和可調(diào)兩種控制方式。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、JJF 1101—2019《環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備溫度、濕度參數(shù)校準(zhǔn)規(guī)范》、GB/T 5170.1—2016《電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備檢驗(yàn)方法總則》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于濕度范圍(5～60)%RH、溫度范圍(10～35)℃的電子防潮柜濕度、溫度偏差的校準(zhǔn)。
《運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)檢測裝置校準(zhǔn)規(guī)范》
檢測裝置主要用于對運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)的前罩拋罩、后罩解鎖、后罩分離進(jìn)行功能測試。檢測裝置主要通過電磁閥控制前后罩氣缸的工作狀態(tài)，檢測前罩拋罩、后罩解鎖、后罩分離等功能是否正常，并通過檢測壓力傳感器的氣壓值判定管路工作氣壓是否符合要求。檢測裝置主要由單片機(jī)控制板、參數(shù)設(shè)置板、輸出控制板、顯示驅(qū)動(dòng)板四塊集成電路板組成。
JJF1071《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF1059《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于運(yùn)載火箭開罩分離系統(tǒng)檢測裝置的校準(zhǔn)。
《基于點(diǎn)源法的固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀校準(zhǔn)規(guī)范》
固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀由輻射探測器、前置放大器、數(shù)字信號處理系統(tǒng)和顯示裝置等組成，通常需外接電源，由電纜連接組成一個(gè)整體。X、γ射線與輻射探測器發(fā)生相互作用，轉(zhuǎn)化為電信號經(jīng)前置放大器與數(shù)字信號處理系統(tǒng)進(jìn)行放大和整形等處理后由顯示裝置進(jìn)行顯示。固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀大量應(yīng)用于核軍工、核電廠、輻射監(jiān)測站、輻照加工場、放射醫(yī)療等場所的輻射水平監(jiān)測。
JJF 1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范技術(shù)內(nèi)容確定主要參考 GB/T 14054—2013《輻射防護(hù)儀器 能量在50keV~7MeV 的 X 和 γ 輻射固定式劑量率儀、報(bào)警裝置和監(jiān)測儀 》 、GB/T4835.1-2012《輻射防護(hù)儀器β、X 和γ輻射周圍和/或定向劑量當(dāng)量(率)儀和/或監(jiān)測儀 第 1 部分：便攜式工作場所和環(huán)境測量儀與監(jiān)測儀》、 GB/T 10253-2012《液態(tài)排出流和地表水中放射性核素監(jiān)測設(shè)備》、JJF 1733-2018 《固定式環(huán)境γ輻射空氣比釋動(dòng)能(率)儀現(xiàn)場校準(zhǔn)規(guī)范》、JJF(鄂)75-2021 《固定式 X、γ劑量當(dāng)量(率)儀和監(jiān)測儀校準(zhǔn)規(guī)范》等制訂而成。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于使用點(diǎn)源法對固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀開展的現(xiàn)場校準(zhǔn)，使用點(diǎn)源產(chǎn)生的輻射輻參考值應(yīng)包含在固定式 X、γ輻射監(jiān)測儀的測量范圍內(nèi)。本規(guī)范不適用于便攜式 X、γ輻射劑量當(dāng)量率儀和 X、γ輻射空氣比釋動(dòng)能率儀的校準(zhǔn)。
《聲學(xué)和振動(dòng)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器校準(zhǔn)規(guī)范》
聲學(xué)和振動(dòng)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器由模擬電信號轉(zhuǎn)數(shù)字信號和數(shù)字信號轉(zhuǎn)模擬信號的硬件與控制軟件組成，是實(shí)現(xiàn)聲學(xué)和振動(dòng)數(shù)字測量的核心設(shè)備。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換特性是聲學(xué)振動(dòng)測試中關(guān)鍵的基礎(chǔ)指標(biāo)。聲學(xué)和振動(dòng)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器主要具有兩個(gè)核心功能: 數(shù)模轉(zhuǎn)換功能——實(shí)現(xiàn)信號發(fā)生器、音頻播放器等設(shè)備的模擬信號輸出，涉及相關(guān)功能描述時(shí)簡稱為數(shù)模轉(zhuǎn)換器。模數(shù)轉(zhuǎn)換功能——實(shí)現(xiàn)對信號的檢測、測試和分析等功能，涉及相關(guān)功能描述時(shí)簡稱為模數(shù)轉(zhuǎn)換器。
JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度的評定與表示》共同構(gòu)成制定本校準(zhǔn)規(guī)范的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。規(guī)范部分主要計(jì)量特性參照《IEEE Std 1241TM-2010 IEEE Standard for Terminology and Test Methods for Analog-to-Digital Converters》中聲學(xué)和頻譜分析應(yīng)用場景的關(guān)鍵參數(shù)。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于 0.01 Hz~200 kHz 聲學(xué)和振動(dòng)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器的校準(zhǔn)。
《真耳分析儀校準(zhǔn)規(guī)范》
真耳分析儀主要功能是在外耳道中測量近鼓膜處聲壓級，分析各種聲信號傳入人耳的響應(yīng)變化，可用于人的聽力輔助診斷、助聽器驗(yàn)配、耳機(jī)降噪等特性測試。真耳分析儀主要由聲源、探管傳聲器、參考傳聲器以及數(shù)據(jù)處理模塊組成，工作頻率范圍一般為(125～8000)Hz。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于真耳分析儀校準(zhǔn)。有真耳分析功能的儀器可以參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《罐內(nèi)涂膜完整性測試儀校準(zhǔn)規(guī)范》
內(nèi)涂膜測試儀是金屬包裝行業(yè)的常用儀器，主要用于空罐內(nèi)涂膜完整性檢測，通過測定電流值反映涂膜的完整性、內(nèi)涂膜致密性。
內(nèi)涂膜測試儀由主機(jī)和配套夾具組成，夾具配備兩個(gè)電極。主機(jī)由電壓源和電流表兩部分組成。工作時(shí)，被測罐內(nèi)加特定電解溶液，兩個(gè)電極分別接罐體和溶液。電壓源在兩個(gè)電極之間提供一個(gè)穩(wěn)定的直流電壓，兩個(gè)電極分別與電解溶液和罐體外壁接觸形成電流通路。電流表測量實(shí)時(shí)電流值。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于罐內(nèi)涂膜完整性測試儀的校準(zhǔn)，其他具有類似原理的內(nèi)涂膜測試儀和蓋涂膜測試儀也可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《大變形引伸計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》
引伸計(jì)是試驗(yàn)機(jī)對試樣施加軸向力時(shí)，測量試樣線變形的裝置，包括測量、指示或記錄系統(tǒng)。接觸式引伸計(jì)，如電阻應(yīng)變式、電感式引伸計(jì)、機(jī)械電子式引伸計(jì)等。
本規(guī)范的大變形引伸計(jì)(以下簡稱引伸計(jì))主要用于測量非金屬及形變量很大的塑性材料，一般來說，引伸計(jì)主要由光電編碼器+滑輪組、夾持臂固定座、上夾持臂、下夾持臂、導(dǎo)向桿、滑動(dòng)套和控制器等組成。
本規(guī)范根據(jù)JJF 1071《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF1059.1《測量不確定度評定與表示》規(guī)定的規(guī)則編寫。
本規(guī)范在制定過程中充分考慮了GB/T 1040.1《塑料 拉伸性能的測定 第1部分：總則》、ISO 9513《金屬材料 單軸試驗(yàn)用引伸計(jì)的校準(zhǔn)》(Metallic materials-Calibration extensometers in uniaxial testing)和ASTM E83《引伸計(jì)系統(tǒng)的標(biāo)定與分級系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)方法》(Standard Practice for Verification and Classification of Extensometer System) 等有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語、符號與定義，以及相關(guān)的技術(shù)要求、技術(shù)指標(biāo)和測試方法。本規(guī)范給出了大變形引伸計(jì)計(jì)量特性的具體校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法。
本規(guī)范系首次發(fā)布。本規(guī)范適用于最大變形量不小于100mm的接觸式大變形引伸計(jì)的校準(zhǔn)。其他測量原理類似的大變形引伸計(jì)可參照本規(guī)范執(zhí)行。
《電梯綜合測試儀校準(zhǔn)規(guī)范》
電梯綜合測試儀是用于測量涉及電梯乘運(yùn)質(zhì)量的振動(dòng)和噪聲信號的設(shè)備。通過傳感器測量電梯轎廂的振動(dòng)信號和噪聲信號，得到電梯運(yùn)行的加速度、噪聲等量值。測試儀由測量三個(gè)正交坐標(biāo)軸加速度的傳感器、測量聲壓級的傳感器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。
JJF1001-2011 《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》、JJF1094-2002 《測量儀器特性評定》及JJF1071-2010 《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范主要參考GB/T 7024-2008《電梯、自動(dòng)扶梯、自動(dòng)人行道術(shù)語》、GB/T 10058-2009《電梯技術(shù)條件》、GB/T 10059-2009《電梯試驗(yàn)方法》以及GB/T 24474.1-2020《乘運(yùn)質(zhì)量測量 第1部分：電梯》等編制而成。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于對電梯綜合測試儀的校準(zhǔn)，其他原理類似的儀器可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《管線金屬定位儀校準(zhǔn)規(guī)范》
管線金屬定位儀一般由發(fā)射機(jī)、接收機(jī)及其他輔助配件組成，發(fā)射機(jī)通過感應(yīng)、直接、夾鉗等方式向金屬管線施加特定幅頻特性的激勵(lì)信號，接收機(jī)可在金屬管線上方探測到響應(yīng)信號，通過分析判定管線或缺陷位置?？捎糜陔娏Α⒆詠硭?、燃?xì)獾冉饘佥斔凸芫€或敷設(shè)金屬示蹤線的水管、光纖、塑料燃?xì)夤艿鹊亩ㄎ弧?br />
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012 《測量不確定度評定與表示》等共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于管線金屬定位儀的校準(zhǔn)，其他原理類似的檢測設(shè)備可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《加壓流體萃取儀校準(zhǔn)規(guī)范》
加壓流體萃取儀是一款用于從固體或半固體樣品中快速萃取、分離待萃取成分的自動(dòng)化樣品前處理儀器，主要用于環(huán)境監(jiān)測，農(nóng)產(chǎn)品和食品檢測，制藥，石化，聚合物工業(yè)等領(lǐng)域。其主要工作原理是通過升高萃取過程中的溫度和壓力，增加樣品中待萃取成分的溶解度和擴(kuò)散效率，從而實(shí)現(xiàn)待萃取成分的高效分離。該類儀器的主要組成部分一般包括：數(shù)字溫控模塊、溶劑注入模塊、萃取池、溶劑回收模塊，儀器結(jié)構(gòu)圖見下圖1。依據(jù)儀器是否能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)、連續(xù)萃取多個(gè)樣品，以及是否具有額外的樣品處理功能，可細(xì)分為半自動(dòng)型、全自動(dòng)型和多功能型。
本規(guī)范依據(jù)JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》和JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》的規(guī)定編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于半自動(dòng)型、全自動(dòng)型、多功能型加壓流體萃取儀的校準(zhǔn)。
《雷擊計(jì)數(shù)器校驗(yàn)儀校準(zhǔn)規(guī)范》
雷擊計(jì)數(shù)器校驗(yàn)儀(簡稱校驗(yàn)儀)是校驗(yàn)雷擊計(jì)數(shù)器的一種儀器。校驗(yàn)儀在雷擊計(jì)數(shù)器兩端輸入模擬雷電沖擊電壓，使雷擊計(jì)數(shù)器工作。通過雷擊計(jì)數(shù)器動(dòng)作次數(shù)，判斷雷擊計(jì)數(shù)器動(dòng)作的可靠性。
其硬件上主要由試驗(yàn)變壓器、整流二極管、充電電阻、充電電容、按鍵操作單元等組成。具有工頻電流校驗(yàn)功能的計(jì)數(shù)器校驗(yàn)儀還由工頻逆變單元、工頻升壓變壓器、電流調(diào)整單元等部分組成。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》等共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于輸出峰值電壓不高于5kV雷擊計(jì)數(shù)器校驗(yàn)儀的校準(zhǔn)，也適用于具有相同原理的儀表的校準(zhǔn)。
《毛細(xì)管塞比重瓶校準(zhǔn)規(guī)范》
毛細(xì)管塞比重瓶是一種量入式玻璃量器，通常采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃制成，常用于測定原油和石油產(chǎn)品的密度。其原理是通過比較相同體積的試樣和水的質(zhì)量來確定密度。毛細(xì)管塞比重瓶常見型式為防護(hù)帽型、蓋-盧塞克型、廣口型。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范參考了 JJG 196—2006《常用玻璃量器檢定規(guī)程》、GB/T 6682—2008 《分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法》、GB/T 13377—2010《原油和液體或固體石油產(chǎn)品 密度或相對密度的測定 毛細(xì)管塞比重瓶和帶刻度雙毛細(xì)管比重瓶法》、ISO3507—1999《實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿—比重瓶》文件中相關(guān)術(shù)語、技術(shù)指標(biāo)、測量方法等內(nèi)容。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于測量范圍(1～100)mL 的玻璃毛細(xì)管塞比重瓶的校準(zhǔn)。其他容量的玻璃毛細(xì)管塞比重瓶也可參照本規(guī)范校準(zhǔn)。
《遮陽系數(shù)測定儀校準(zhǔn)規(guī)范》
遮陽系數(shù)測定儀是根據(jù)玻璃的分子對紫外、可見、近紅外區(qū)輻射光的選擇性吸收和反射，與太陽光輻射相對光譜分布和波長間隔的加權(quán)函數(shù)，得到太陽光的直接透射比、直接反射比這兩個(gè)基本指標(biāo)，然后根據(jù)這兩個(gè)基本指標(biāo)，計(jì)算出太陽光的直接吸收比、二次熱傳遞系數(shù)、太陽能總透射比，最后計(jì)算出玻璃構(gòu)件的遮陽系數(shù)，從而對樣品進(jìn)行定量分析和定性判別。
遮陽系數(shù)測定儀主要由光源、單色器、樣品積分球、檢測器、信號處理和顯示與存儲系統(tǒng)組成。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1032—2005《光學(xué)輻射計(jì)量名詞術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范參考 GB/T 2680—2021《建筑玻璃可見光透射比、太陽光直接透射比、太陽能總透射比、紫外線透射比及有關(guān)窗玻璃參數(shù)的測定》制定。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于對窗玻璃及玻璃幕墻等建筑玻璃的遮陽系數(shù)進(jìn)行測定的遮陽系數(shù)測定儀的校準(zhǔn)。
《鉆孔電視成像儀校準(zhǔn)規(guī)范》
鉆孔電視成像儀是運(yùn)用電視成像技術(shù)，探測鉆孔、管道內(nèi)壁狀態(tài)的儀器，廣泛應(yīng)用在工程地質(zhì)、水文地質(zhì)、地質(zhì)找礦、巖土工程、礦山等領(lǐng)域。鉆孔電視成像儀主要由主機(jī)、探頭、線纜絞車、滑輪和深度計(jì)數(shù)器組成。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1034—2020《聲學(xué)計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012 《測量不確定度評定與表示》等共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于鉆孔電視成像儀的校準(zhǔn)，鉆孔全景數(shù)字成像儀、鉆孔成像分析儀等其他類似的儀器也可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《低溫保存箱校準(zhǔn)規(guī)范》
低溫箱是對箱內(nèi)溫度可控制在(-25～-164)℃溫度區(qū)間內(nèi)，用消耗電能的手段來制冷，具有適當(dāng)容積和裝置的絕熱箱的總稱。低溫箱按門或蓋的打開方式可分為頂開式(臥式)和直立式(立式)；按特性點(diǎn)溫度可分為：-25℃、-30℃、-40℃、-50℃、-60℃、-86℃、-140℃、-150℃、-164℃類型。低溫箱主要用于在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)對放入其中的物品進(jìn)行可靠的儲藏，廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、生物制藥、食品飲料、農(nóng)業(yè)畜牧、化工、軍工、科學(xué)研究等領(lǐng)域。
JJF 1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制修訂工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范參照 GB/T 20154-2014《低溫保存箱》、YY/T 1757-2021《醫(yī)用冷凍保存箱》中規(guī)定的相關(guān)術(shù)語定義和技術(shù)內(nèi)容。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于溫度范圍(-25～-164)℃，采用封閉式電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)壓縮式低溫保存箱計(jì)量性能的校準(zhǔn)。
《影像測量RTK接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》
影像測量RTK接收機(jī)是具備攝影測量功能的RTK接收機(jī)，由全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng)(Global Navigation Satellite System，GNSS)天線、板卡、慣性測量單元(Inertial Measurement Unit，IMU)、影像測量傳感器等部分組成。接收機(jī)采用GNSS和IMU組合測量，可獲取接收機(jī)的位置與姿態(tài)，結(jié)合影像測量傳感器可獲取多張影像，并根據(jù)交會測量得到影像中目標(biāo)點(diǎn)的坐標(biāo)，也可根據(jù)位置與姿態(tài)信息將放樣點(diǎn)的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換到影像坐標(biāo)系下虛擬顯示，進(jìn)行影像放樣，或在接收機(jī)傾斜狀態(tài)下對當(dāng)前姿態(tài)進(jìn)行補(bǔ)償，獲取測量桿尖的坐標(biāo)。
影像測量RTK接收機(jī)廣泛應(yīng)用于工程測量領(lǐng)域，如土地勘測、建筑施工、道路建設(shè)、水利水電工程等，特別是遮擋、障礙等復(fù)雜、危險(xiǎn)場景下的非接觸式測量，以及建筑物的三維測量與建模。
JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》和JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于影像測量RTK(real-time kinematic survey)接收機(jī)的校準(zhǔn)，以及其他具有傾斜測量或斷點(diǎn)續(xù)測功能的RTK接收機(jī)的校準(zhǔn)。
《監(jiān)測型 GNSS 接收機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》
監(jiān)測型 GNSS 接收機(jī)，是一種固定在待監(jiān)測點(diǎn)上連續(xù)運(yùn)行的 GNSS 終端設(shè)備，采用偽距和載波相位觀測值進(jìn)行相對定位，給出實(shí)時(shí)或準(zhǔn)實(shí)時(shí)位移量，主要用于大壩、邊坡、礦山、建筑、橋梁、鐵路等安全監(jiān)測領(lǐng)域。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、JJF1059.2—2012《用蒙特卡洛法評定測量不確定度》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于監(jiān)測型 GNSS 接收機(jī)的校準(zhǔn)。
《地磁經(jīng)緯儀校準(zhǔn)規(guī)范》
地磁經(jīng)緯儀，也稱DI儀，主要由無磁經(jīng)緯儀、磁通門傳感器、磁通門磁強(qiáng)計(jì)主機(jī)、線纜四部分組成，用于地磁場絕對方向的測量。地磁經(jīng)緯儀的磁通門傳感器在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)至示值為零時(shí)，敏感軸與磁場方向垂直，結(jié)合望遠(yuǎn)鏡和水平度盤測量目標(biāo)方向與磁北方向夾角，即目標(biāo)的磁方位角；地磁經(jīng)緯儀的磁通門傳感器在地磁場方向所在的鉛垂面內(nèi)旋轉(zhuǎn)至示值為零時(shí)，通過豎直度盤讀數(shù)計(jì)算得到磁傾角。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本校準(zhǔn)規(guī)范適用于地磁經(jīng)緯儀的校準(zhǔn)。
《垂線觀測儀校準(zhǔn)規(guī)范》
垂線觀測儀是一種用于測量正、倒垂線裝置的儀器，主要應(yīng)用于水利水電大壩、船閘、高層建筑物等大型工程的變形監(jiān)測，也稱為垂線坐標(biāo)儀。常見的垂線儀主要有光學(xué)和光電式等類型。
光學(xué)垂線儀工作時(shí)，通過橫、縱導(dǎo)軌移動(dòng)照準(zhǔn)部，使得照準(zhǔn)光路對準(zhǔn)被測垂線，并利用測微手輪讀取相應(yīng)橫、縱軸坐標(biāo)；光電式垂線儀利用平行光使垂線產(chǎn)生的陰影投射到CCD傳感器上，再通過圖像處理分析得到垂線投影的坐標(biāo)。
JJF 1071—2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001—2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于光學(xué)和光電式垂線觀測儀(垂線坐標(biāo)儀)的校準(zhǔn)，其他類型垂線觀測儀的校準(zhǔn)可以參照執(zhí)行。
《建筑幕墻物理性能檢測裝置校準(zhǔn)規(guī)范》
幕墻檢測裝置是通過預(yù)定的程序作用于被檢建筑幕墻試件，從而測量建筑幕墻的氣密、水密、抗風(fēng)壓和層間位移性能的設(shè)備。
幕墻檢測裝置由壓力箱、安裝橫架、供壓裝置(包括供風(fēng)設(shè)備、壓力控制裝置)、淋水裝置、測量裝置(包括差壓計(jì)、空氣流量測量裝置、水流量測量裝置及位移測量裝置)及靜力加載裝置組成。
本規(guī)范以JJF 1071《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001《通用計(jì)量術(shù)語及定義》及JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》作為基礎(chǔ)性系列規(guī)范進(jìn)行制定。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于建筑幕墻物理性能檢測裝置的校準(zhǔn)。
《萬能分度頭校準(zhǔn)規(guī)范》
萬能分度頭一般是蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，其傳動(dòng)比為1/40，手輪轉(zhuǎn)動(dòng)一周為9°。萬能分度頭帶有刻度環(huán)，刻度環(huán)每小格為1′，分度游標(biāo)每小刻為10″。
JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》和JJF1094-2002《測量儀器特性評定》共同構(gòu)成本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于蝸輪蝸桿傳動(dòng)、傳動(dòng)比為1/40、主要采用簡單分度方式來實(shí)現(xiàn)工件分度的萬能分度頭的校準(zhǔn)。其他分度方式的萬能分度頭可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
《分散控制系統(tǒng)/可編程邏輯控制器(模擬信號輸入)校準(zhǔn)規(guī)范》
DCS，是一種基于計(jì)算機(jī)通信的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于電力、冶金、石化等各行各業(yè)。其主要由控制單元(包括通訊模塊、控制器模塊、I/O 連接模塊和各種信號輸入輸出模塊)、操作單元(包括操作站、服務(wù)器等人機(jī)會話接口站點(diǎn))、通信網(wǎng)絡(luò)(包括 I/O 總線、網(wǎng)絡(luò))和供電單元組成(如圖 1)?，F(xiàn)場信號經(jīng)控制單元通過 I/O總線上行至操作單元，經(jīng)數(shù)據(jù)處理后形成相應(yīng)控制信號，再通過 I/O 總線下行至控制。
PLC，是種專門為在工業(yè)環(huán)境下應(yīng)用而設(shè)計(jì)的數(shù)字運(yùn)算操作電子系統(tǒng)，用來在其內(nèi)部存儲執(zhí)行邏輯運(yùn)算、順序控制、定時(shí)、計(jì)數(shù)和算術(shù)運(yùn)算等操作的指令，并通過數(shù)字式、模擬式的輸入和輸出，控制各種類型的機(jī)械或生產(chǎn)過程。主要由微處理器、通訊及編程接口、系統(tǒng)存儲器、用戶存儲器、I/O 擴(kuò)展接口、輸入部件和輸出部件組成。
本規(guī)范依據(jù)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范 JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于模擬信號輸入的分散控制系統(tǒng)(Distributed Control System，DCS)以及可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller，PLC)的校準(zhǔn)。
《200Mbps～4Gbps數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)時(shí)間參數(shù)校準(zhǔn)規(guī)范》
數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)用于對數(shù)字集成電路進(jìn)行技術(shù)指標(biāo)參數(shù)測試，主要可分為直流參數(shù)(DC參數(shù)，也稱為電學(xué)參數(shù))測試和交流參數(shù)(AC參數(shù)，也稱時(shí)間參數(shù)，以下均稱時(shí)間參數(shù))測試。時(shí)間參數(shù)測試主要涉及的關(guān)鍵部件包括數(shù)字通道和時(shí)間測量單元等兩類硬件部分，其中關(guān)系到集成電路測試結(jié)果準(zhǔn)確與否的關(guān)鍵參數(shù)包括：數(shù)字通道測量傳輸延遲時(shí)間準(zhǔn)確度，數(shù)字通道同步偏差時(shí)間，數(shù)字通道方波信號時(shí)間間隔準(zhǔn)確度，時(shí)間測量單元時(shí)間間隔測量準(zhǔn)確度等4個(gè)方面。
數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)是集成電路測試的主要設(shè)備，在測試接口板上外圍電路的配合下形成完善的測試環(huán)境，按照被測集成電路數(shù)據(jù)手冊的要求執(zhí)行相應(yīng)的電氣指標(biāo)測試項(xiàng)，測試結(jié)果是判定高速集成電路能否滿足使用要求的重要判據(jù)。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于測試速率在200Mbps~4Gbps之間的單端信號(非差分)模式下，數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)(Digital Integrated Circuit Testing System)的時(shí)間參數(shù)校準(zhǔn)。
《集成電路測試系統(tǒng)加載板校準(zhǔn)規(guī)范》
加載板能夠?qū)崿F(xiàn)集成電路測試系統(tǒng)輸入/輸出端口與被測集成電路的輸入/輸出引腳之間的互連，也能作為計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置與被校準(zhǔn)集成電路測試系統(tǒng)信息交互。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于集成電路測試系統(tǒng)加載板的校準(zhǔn)，也可用于新制備的加載板交付和驗(yàn)收時(shí)的性能驗(yàn)證。
《晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范(片上標(biāo)準(zhǔn)電阻法)》
晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)主要通過測試晶圓表面電阻并計(jì)算電阻率進(jìn)而推算晶圓加工過程中的工藝參數(shù)，比如刻蝕厚度和寬度、金相沉積的寬度和厚度等加工特性。是集成電路加工過程中的最重要的工藝控制手段之一。片上標(biāo)準(zhǔn)電阻通過將已經(jīng)溯源的標(biāo)準(zhǔn)電阻值復(fù)現(xiàn)在晶圓片上，晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)自動(dòng)測試晶圓上的標(biāo)準(zhǔn)電阻進(jìn)而實(shí)現(xiàn)量值的溯源，達(dá)到對晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)校準(zhǔn)的目的。
片上標(biāo)準(zhǔn)電阻復(fù)現(xiàn)常用的標(biāo)準(zhǔn)電阻值在晶圓片上，晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)通過其探針直接測量晶圓片上的標(biāo)準(zhǔn)電阻值，并與標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行對比，實(shí)現(xiàn)對晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于新購進(jìn)、使用中、修理后的晶圓材料電阻特性測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
《晶圓測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》
晶圓測試系統(tǒng)，用于對數(shù)字電路、模擬電路、混合信號電路等各類刻蝕好的集成電路裸晶圓片進(jìn)行測試的能力。在集成電路生產(chǎn)測試、驗(yàn)證測試、性能測試、工藝改進(jìn)、測試技術(shù)研究等方面有著廣泛應(yīng)用。
晶圓測試系統(tǒng)包括對功能及參數(shù)的各類測量單元、控制晶圓片進(jìn)給以及傳輸測量信號的探針臺。晶圓片放置于探針臺的承片臺上通過探針與測量單元聯(lián)接，通過測試程序控制測量單元及探針臺，完成對晶圓片的功能及參數(shù)測試。因此，通過對集成電路測量單元與探針臺位移單元的校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
晶圓測試系統(tǒng)根據(jù)不同型號，由不同的模塊單元組成，主要包括各類集成電路測量單元與自動(dòng)程度不同的各型探針臺。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF 1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》。本規(guī)范適用于新購進(jìn)、使用中、修理后的晶圓測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
《氧化層膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范》
膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片是針對集成電路工藝參數(shù)測量設(shè)備，通過復(fù)現(xiàn)集成電路關(guān)鍵尺寸量值，通過橢偏儀進(jìn)行測量，在實(shí)際工作狀態(tài)下對橢偏儀完成校準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)樣片是具備一個(gè)或多個(gè)典型值的專用標(biāo)準(zhǔn)樣品，通過校準(zhǔn)后主要用于橢偏儀的校準(zhǔn)、實(shí)驗(yàn)室比對和能力驗(yàn)證等。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范規(guī)定了厚度在10nm~1000nm之間的氧化層膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片的校準(zhǔn)。
《數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范》
數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片是已確定一種或多種參數(shù)的專用集成電路，以標(biāo)準(zhǔn)樣片為計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器，通過復(fù)現(xiàn)數(shù)字集成電路參數(shù)的量值對測試系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，其校準(zhǔn)結(jié)果反映了被校準(zhǔn)測試系統(tǒng)在實(shí)測工況下的綜合測量狀態(tài)。標(biāo)準(zhǔn)樣片的特性參數(shù)通過校準(zhǔn)后主要用于數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)、實(shí)驗(yàn)室比對和能力驗(yàn)證等。
標(biāo)準(zhǔn)樣片的管腳定義如圖1所示，一般采用標(biāo)準(zhǔn)的雙列直插式封裝，管腳包括電源、地、控制、輸入、輸出等管腳，其工作時(shí)數(shù)字集成電路測試系統(tǒng)對其電源、地、控制管腳根據(jù)具體參數(shù)施加相應(yīng)的信號，使標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)入該參數(shù)的工作狀態(tài)后，控制測試系統(tǒng)對標(biāo)準(zhǔn)樣片輸入、輸出管腳施加/測量對應(yīng)參數(shù)即可得到該參數(shù)的測量值。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于對數(shù)字集成電路標(biāo)準(zhǔn)樣片的校準(zhǔn)。
《線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片校準(zhǔn)規(guī)范》
線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片是針對集成電路工藝參數(shù)測量設(shè)備，通過復(fù)現(xiàn)集成電路關(guān)鍵尺寸量值，通過掃描電子顯微鏡進(jìn)行測量，在實(shí)際工作狀態(tài)下對掃描電子顯微鏡完成校準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)樣片是具備一個(gè)或多個(gè)典型值的專用標(biāo)準(zhǔn)樣品，用于線寬測量儀器的校準(zhǔn)。
本規(guī)范的編制依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012 《測量不確定度評定與表示》編制。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于線寬在100nm~10μm之間的線寬標(biāo)準(zhǔn)樣片線寬的校準(zhǔn)。
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