《真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法 第3部分：機(jī)械增壓泵的特定參數(shù)》
 

　　機(jī)械增壓真空泵在國(guó)內(nèi)外亦被稱作羅茨真空泵，是容積真空泵的重要分支。它可以在較寬的壓力區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)較大的抽速,尤其是在10-1Pa - 102 Pa這個(gè)壓力范圍內(nèi),其他的高真空泵和低真空泵不能實(shí)現(xiàn)高抽速。因具有這種特性,至今在機(jī)械通用行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、航空航天工業(yè)、制藥工業(yè)、真空冶金行業(yè)等得到大量應(yīng)用。
 

　　GB/T 40344.1和 GB/T 40344.2中規(guī)定的測(cè)量方法和裝置可以用來(lái)測(cè)量機(jī)械增壓真空泵的體積流率。然而,由于機(jī)械增壓泵設(shè)有前級(jí)真空泵,測(cè)量方法不同于普通的高真空泵或低真空泵，特別是測(cè)量一些重要參數(shù)時(shí)，如最大容許壓差，零流量壓縮比和溢流閥壓差等，并未涵蓋在這兩項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)中。
 

　　實(shí)際應(yīng)用中急需對(duì)其測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)化，以使生產(chǎn)者和最終用戶對(duì)不同機(jī)械增壓泵的性能進(jìn)行比較。亦能對(duì)這兩項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行有效補(bǔ)充。本標(biāo)準(zhǔn)的制定可為羅茨真空泵的設(shè)計(jì)、制造、驗(yàn)收、檢測(cè)和使用提供指導(dǎo)和規(guī)范，同時(shí)可為羅茨真空泵的推廣應(yīng)用提供有效的技術(shù)支撐和科學(xué)合理的測(cè)試比對(duì)方法。
 

　　本文件規(guī)定了機(jī)械增壓真空泵的最大容許壓差、有效壓縮比、零流量壓縮比和溢流閥壓差的測(cè)量方法和特殊的要求。文件中所涉及的機(jī)械增壓泵包括用于中真空或粗真空應(yīng)用的機(jī)械增壓泵、氣冷式機(jī)械增壓泵及多級(jí)機(jī)械增壓泵系統(tǒng)。
 

　　《真空技術(shù) 真空計(jì) 電容薄膜真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測(cè)量不確定度》
 

　　電容薄膜真空計(jì)最大的問(wèn)題是供需關(guān)系倒置，購(gòu)買方需要向供方提供書(shū)面申請(qǐng)，待供方批準(zhǔn)后才能獲得購(gòu)買權(quán)限，這就造成了購(gòu)買方在儀器的技術(shù)要求上沒(méi)有話語(yǔ)權(quán)。而部分供方在概念上混淆，例如用“測(cè)量誤差”代替“測(cè)量精密度”或“測(cè)量準(zhǔn)確度”。本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于有可能出現(xiàn)在產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)或技術(shù)要求文件上的名詞均給出了定義，關(guān)鍵名詞還給出了測(cè)量或評(píng)價(jià)方法，有助于生產(chǎn)廠家給出的技術(shù)要求具有可比性。
 

　　該標(biāo)準(zhǔn)給出了校準(zhǔn)電容薄膜真空計(jì)應(yīng)該注意的一些影響量，例如溫度效應(yīng)等，可以作為電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范的補(bǔ)充說(shuō)明。本標(biāo)準(zhǔn)給出了評(píng)估電容薄膜真空計(jì)不確定度需要考慮的不確定度分量，有助于檢測(cè)機(jī)構(gòu)能夠更為合理的評(píng)估其性能，不會(huì)因?yàn)橛捎趤G項(xiàng)而評(píng)估的不確定度偏小。
 

　　該標(biāo)準(zhǔn)可用于規(guī)范電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家給出的技術(shù)指標(biāo)，使其具有可比性，方便用戶選擇。明確測(cè)量誤差與測(cè)量精密度的區(qū)別，以免發(fā)生混淆，特別是對(duì)于可以調(diào)節(jié)顯示值的薄膜計(jì)，不能以調(diào)整后的測(cè)量誤差代替測(cè)量精密度寫(xiě)入技術(shù)文件。該標(biāo)準(zhǔn)將會(huì)對(duì)電容薄膜真空計(jì)的生產(chǎn)廠家給予一定的制約，使其能夠更為合理的評(píng)價(jià)產(chǎn)品性能，為用戶購(gòu)買選型提供技術(shù)上的保證。
 

　　該標(biāo)準(zhǔn)還對(duì)計(jì)量部門及校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室提供了詳細(xì)校準(zhǔn)過(guò)程，不確定度評(píng)定方法，對(duì)其校準(zhǔn)工作提供了技術(shù)指導(dǎo)。通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的制定，可以推動(dòng)我國(guó)電容薄膜真空計(jì)產(chǎn)品質(zhì)量的提高，同時(shí)可使我們電容薄膜真空計(jì)的產(chǎn)品性能、校準(zhǔn)方法與國(guó)際通行方法接軌，具有明顯的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。