上圖對話框中的相應(yīng)參數(shù)可以進行人為的修改，但建議在進行測量時采用相同參數(shù)進行測量，以免由于參數(shù)改變而引入一定的測量誤差，該功能的大致計算流程為：

• 數(shù)據(jù)首先經(jīng)過平滑處理得到譜峰點的峰位（即峰谷），即“Dip”；

• “Max Distance”參數(shù)是將距峰谷處特定距離的譜峰數(shù)據(jù)進行分離，并對其進行擬合以及進一步斜率的計算（數(shù)值過大會影響真實的能量損失結(jié)構(gòu)，數(shù)值過小將會導(dǎo)致計算結(jié)果誤差較大）；

• 最小線寬是指線允許的最小數(shù)值，擬合程序?qū){(diào)整譜線對應(yīng)的能量寬度。

由上圖可以看出，選中相應(yīng)圖譜調(diào)出Bａnd Gap Measurement界面后，調(diào)整相關(guān)參數(shù)，Avantage軟件便會自動算出材料帶隙值，方便快速。

對于帶隙的求取，同樣可以利用REELS數(shù)據(jù)進行求取，求取步驟同上，下圖為計算示意圖，如圖6所示

本文介紹了用Avantage軟件求取帶隙的功能?？煽吹?，Avantage軟件不僅具有強大的XPS數(shù)據(jù)處理能力，同時還是一個全面的數(shù)據(jù)分析軟件。通過Avantage軟件能快速得完成對材料帶隙的測量求取，滿足客戶測試帶隙的需求，助力半導(dǎo)體材料、電子材料、集成電路行業(yè)的發(fā)展。