2022年05月，由成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司牽頭聯(lián)合高校、研究院所共同研制的“φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀”產(chǎn)品順利通過國(guó)產(chǎn)成果鑒定。項(xiàng)目于2013年由國(guó)內(nèi)某研究院立項(xiàng)開始關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，于2018年由四川省國(guó)防科學(xué)技術(shù)工業(yè)辦公室立項(xiàng)開展產(chǎn)品化研制，于2018年12月研制完成國(guó)內(nèi)產(chǎn)品，于2019年至2022年完成用戶試用與工程化提升。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)經(jīng)過9年艱苦攻關(guān)，實(shí)現(xiàn)了φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品化，完成了國(guó)產(chǎn)超大口徑大型精密光學(xué)測(cè)試儀器的自主可控，進(jìn)口替代。

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品

由士牽頭組成的成果鑒定委員會(huì)，在聽取項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)所做的工作報(bào)告、技術(shù)研究報(bào)告與現(xiàn)場(chǎng)考察基礎(chǔ)上，對(duì)項(xiàng)目成果給予了客觀的評(píng)價(jià)。

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀成果鑒定現(xiàn)場(chǎng)

鑒定委員會(huì)一致認(rèn)為：該項(xiàng)目產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀國(guó)內(nèi)套研發(fā)與應(yīng)用。項(xiàng)目技術(shù)難度大，創(chuàng)新性強(qiáng)，關(guān)鍵技術(shù)自主可控，項(xiàng)目成果總體技術(shù)處于水平，其中基于大視場(chǎng)的共軸插入快速對(duì)準(zhǔn)技術(shù)處于水平。

項(xiàng)目研制的國(guó)內(nèi)φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品，在攻克多項(xiàng)核心技術(shù)的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了儀器整機(jī)精度達(dá)到國(guó)際同類水平，部分指標(biāo)超過國(guó)際水平。儀器產(chǎn)品精度：標(biāo)準(zhǔn)TF鏡與標(biāo)準(zhǔn)RF鏡面形精度PV均優(yōu)于52nm（λ/12），TF鏡與RF鏡不配修直接成腔的系統(tǒng)精度PV優(yōu)于63nm（λ/10），系統(tǒng)中頻精度PSD1小于0.80nm，系統(tǒng)RMS重復(fù)性優(yōu)于0.21nm（λ/3000）。

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品系統(tǒng)精度

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品系統(tǒng)重復(fù)性

項(xiàng)目在技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)品化研制過程中，還重點(diǎn)開展了關(guān)鍵核心單元技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化研制，整機(jī)除大口徑光學(xué)材料外實(shí)現(xiàn)全部國(guó)產(chǎn)化，國(guó)產(chǎn)化率到達(dá)85%以上。尤其是研制出了件φ800mm超大口徑標(biāo)準(zhǔn)透射標(biāo)準(zhǔn)鏡（TF鏡）單元核心部件，實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)TF鏡φ800mm全口徑面形精度PV優(yōu)于42.2nm（λ/15）且中頻PSD1小于0.80nm。

φ800mm超大口徑標(biāo)準(zhǔn)透射鏡面形精度

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品的研制成功標(biāo)志著我國(guó)在超大口徑精密光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域又邁進(jìn)了關(guān)鍵一步。太科人始終堅(jiān)持科技創(chuàng)新、服務(wù)用戶、支撐國(guó)家高科技發(fā)展的信念，致力于攻堅(jiān)克難打破國(guó)外，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控，為我國(guó)精密光電測(cè)試領(lǐng)域做出應(yīng)有的貢獻(xiàn)！