單晶硅純水機(jī) - 簡(jiǎn)介
硅是地球上儲(chǔ)藏zui豐富的材料之一，單晶硅也稱硅單晶，是電子信息材料中zui基礎(chǔ)性材料，屬半導(dǎo)體材料類。單晶硅主要用于半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽(yáng)能電池。為此，我們利用單晶硅的性質(zhì)制造生產(chǎn)工藝用超純水設(shè)備——。
單晶硅純水機(jī) - 工藝流程
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
● 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM) (新工藝)
● 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對(duì)象(≥5MΩ.CM)(新工藝)
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對(duì)象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
● 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精密過濾器-用水對(duì)象 (≥5MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)[1]
單晶硅純水機(jī) - 水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)
- 設(shè)備要求
為達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量。在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)到國(guó)家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
- 設(shè)備超純化后處理系統(tǒng)
①混床離子交換純化柱
?、贓DI裝置
?、鄢裏嵩瑸V膜
④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器
?、萁K端過濾器
- 產(chǎn)品型號(hào)
VGT-1T RO
單晶硅超純水設(shè)備簡(jiǎn)介
單晶硅超純水設(shè)備[2] 是運(yùn)用*的膜分離技術(shù)，以及電子離子的EDI技術(shù)。反滲透技術(shù)中的RO膜是能攔截極細(xì)小的雜質(zhì)，EDI是由膜塊組成靈活方便效率高。設(shè)備整體自動(dòng)化程度高可以無需人工操作，結(jié)構(gòu)合理占地面積少。
單晶硅超純水設(shè)備工作程序
單晶硅超純水設(shè)備的工作程序主要包括四部分，分別是前處理系統(tǒng)、預(yù)處理系統(tǒng)、精致處理系統(tǒng)、后處理系統(tǒng)。原水通過前處理系統(tǒng)的水箱和水泵，到達(dá)3級(jí)過濾和軟水器的預(yù)處理系統(tǒng)。到達(dá)精致處理系統(tǒng)雙級(jí)反滲透和EDI結(jié)合，zui后到達(dá)微孔過濾器的后處理系統(tǒng)。
單晶硅超純水設(shè)備特點(diǎn)
單晶硅超純水設(shè)備整體采用技術(shù)*的零部件，質(zhì)量安全可靠易于操作維護(hù)方便。設(shè)備自動(dòng)化程度高可以自動(dòng)關(guān)機(jī)，具有*的自我保護(hù)功能。采用的是*的膜保護(hù)系統(tǒng)，淡化水可自動(dòng)將膜面污染物沖洗干凈來延長(zhǎng)膜的壽命。
