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上海伯東Pfeiffer檢漏儀PECVD檢漏-氦質(zhì)譜檢漏儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2016-08-12
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量200
  • 人氣值3454
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位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,, 是日本伯東株式會社獨資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊資金為200萬美元,到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)(上海)有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部()專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規(guī)管);檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標準的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓工程師,多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識,并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,HVA 高真空閥門。公司一直堅持品質(zhì)*、信譽*的原則,為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認證、ISO9001-2000質(zhì)量體系認證、ISO14001-1996環(huán)境體系認證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開拓進取的精神,為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團化發(fā)展。

為將國外的高科技產(chǎn)品與中國經(jīng)濟和社會的飛速發(fā)展緊密結(jié)合,為促進國內(nèi).貿(mào)易的快速發(fā)展,伯東企業(yè)(上海)有限公司,以高科技推動現(xiàn)代化,以高質(zhì)量服務(wù)全中國, 堅持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專業(yè)代理公司,代理上公司的 半導體設(shè)備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創(chuàng)新.求真.發(fā)展的基本原則, 精心構(gòu)建誠信、互動、共贏的價值體系, 為所有的客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品, 同時,提供全伯東集團網(wǎng)絡(luò)支持下的較早.Z快的信息與Z及時周到的服務(wù),伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作,共建一個誠信.發(fā)展.共同進步的良好環(huán)境.

 

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上海伯東代理德國 Pfeiffer 多功能多用途氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 成功應用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。
PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化
上海伯東Pfeiffer檢漏儀PECVD檢漏-氦質(zhì)譜檢漏儀 產(chǎn)品詳情

氦質(zhì)譜檢漏儀 PECVD 檢漏
上海伯東代理德國 Pfeiffer 多功能多用途氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 成功應用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。

PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種 CVD 稱為等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)。

PECVD 檢漏原因PECVD 工作環(huán)境需要兩個必要條件:低溫和真空??梢酝ㄟ^上海伯東德國 Pfeiffer 機械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 聯(lián)用獲得穩(wěn)定的高真空。由于 PECVD 結(jié)構(gòu)復雜,組成部分較多,各組件通過各種法蘭接口連接,當長時間運行時可能造成接口或管路松動,導致真空度抽不下來,影響沉積薄膜的質(zhì)量,這時就需要通過檢漏來排查漏點。常規(guī)的檢漏如涂肥皂水等方法,耗時耗力且精度低,容易受操作人員干擾,所以利用氦質(zhì)譜檢漏儀的排查方法越來越廣泛使用。

PECVD 檢漏方法:采用檢漏儀的真空法進行檢漏,對懷疑有漏的地方噴氦氣,如果檢漏儀報警,則表明此處有漏!上海伯東客戶中科院某研究所目前現(xiàn)有多臺舊款 Adixen ASM 142 檢漏儀,因為設(shè)備增加,在經(jīng)過工程師*后采購檢漏儀 ASM 340。
* 鑒于信息保密,更詳細的 PECVD 檢漏方法,歡迎:

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上海伯東:葉女士                             中國臺灣伯東:王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
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