日本富士ZAF熱導分析儀
特點
- 清晰易見的大形LCD顯示。
- 可與計算機通信。
- 小型的面板安裝結構。
- 零點、滿量程點的自動校正功能(選配件)。
- 可對其它氣體的干涉影響進行補償運算(選配件)。
- 氣體濃度報警輸出(選配件)
可任選上·下限報警、上·上限報警、下·下限報警輸出中的某一項。 - 量程切換(選配件)
通過正面鍵盤操作的切換方式或通過外部接點輸入的切換方式。量程比：測量H2、He zui大為1:10 測量Ar、CH4、CO2 zui大為1:5。 - 測量輸出信號的線性化(選配件)
日本富士ZAF熱導分析儀
用途
- 半導體裝置的H2氣體濃度測量
- 氫氣發(fā)生裝置的H2氣體濃度測量
- 燒結爐的H2氣體濃度測量
- 煤氣發(fā)生設備的Ar、He、CH4濃度測量
- 超導裝置的He氣體濃度測量
- 空氣分離設備的Ar氣體濃度測量
測量原理
| 熱導式氣體分析儀是利用2種組分氣體不同的熱導率來測量氣體濃度。檢測器內部有參比室和測量室，內部分別張緊著細鉑絲。參比室內密封著參比(基準)氣體。鉑絲與外部定值電阻組合，形成電橋回路，恒定電流分別流過各鉑絲，使之發(fā)熱。被測組分中若濃度有變化，則試樣氣體的熱導率會隨之變動，從而使測量室鉑絲的溫度發(fā)生變化。將這種溫度變化以電阻值變化的形式取出，就可以計算出被測氣體的濃度。 |
