热式气体质量流量计
一、 工作原理：
μf感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作，保证传感器的高度*，解决了现在传统的热式质量流量计无法保证其传感器的电阻值得*性，导致传感器在各个发现方向热传导速度的差异，所以传统的热式质量流量计在传感器校准和使用过程中产品稳定性存在问题，实际应用中的热式质量流量计价格昂贵，大规模应用比较难的问题。而μf干热式芯片的功耗大大小于普通的热式质量流量计，同事可靠、稳定、安全性更好。
在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上。采用这样的桥式方式制作有利于热传感器，使动态响应时间大大提高。荡传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定得温差，在芯片周围形成固定的温度场分布。
二、 产品特点：
1、 产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门、无需通过二次仪表显示。
2、 μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和新材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。
3、 微小流量气体测量，sccm（ml/min）级的维流量测控，实现微小流量测量的数字化。
单个芯片的流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高。
4、 机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠。
5、 结构的优化、 MFM流量计的压力损失达到zui小化。
6、 采用的MF传感技术，使流量计工作更稳定、可靠。
7、 *零点自校功能，测量更准确。
8、 多种气体实际标定，全量程补偿。
9、 快速响应，数字自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。
10、 规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。
11、 精度等级高，满足用户高精度测量要求。
12、 *的流量计报警功能，使监控更可靠。
13、 操作、设置界面友好，简便、可根据需要自行设定相关参数。
14、 运用行业多，使科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、室友化工业行业微小气体流量控制产品升级换代的*。
