型號：PTZ-01
超高純度cvd - sic單體*位，非磁性，耐蝕、抗高溫等特性，使用方便
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運(yùn)搬中における先端の保護(hù)にも充分ご注意下さい。 先端が破損した場合には、本體ごと返送下さい。 先端のみの取替えも可能です。 |
- 真空蒸著（CVD）法による不純物ppbレベルの超高純度SiC（炭化ケイ素）を先端ビットに裝著した畫期的な製法によるシリコンウェハー専用ピンセット。
- 従來のステンレス製ピンセットの重大な欠點(diǎn)であったシリコンウェハーへの重金屬?zèng)A染が全くありません。
- 耐薬品性と耐熱性に極めて優(yōu)れ、弗硝酸等によるウェハー洗浄工程での使用も可能です。
- 軽量（ρ＝3.8）、非磁性、耐摩耗性に優(yōu)れる等の特徴もあります。
- ピンセット本體は、耐蝕性、非磁性、軽量等の特性を備えたチタニウムです。全長150㎜
■特性
■耐蝕性
■不純物含有量
| 項(xiàng) 目 | 特性値 |
| 密 度 ?。╧g/M3） | 3.21×103 |
| 曲げ強(qiáng)度※ （kgf/mm2） | 80 |
| 引張り強(qiáng)度※ （kgf/mm2） | 60 |
| ヤング率 （kgf/mm2） | 50,000 |
| 硬 さ ?。╧gf/mm2） | HK:3,500 |
| 線膨張係數(shù)（I/℃） | 4.5×10-6 |
| 熱伝導(dǎo)率※ （cal/cm?s?℃） | 0.16 |
| 比抵抗 ?。?Omega;?m） | 102 |
| （※）室溫での値 |
■耐蝕性
| 雰囲気 | 溫 度 | 時(shí) 間 | 重量変化 |
| 6N HCI | 沸點(diǎn) （110℃） | 1470h | 認(rèn)められず |
| 9N HNO3 | 沸點(diǎn) （116℃） | 1470h | |
| 19N H2SO4 | 沸點(diǎn) （128℃） | 1470h | |
| 弗硝酸?17%HF?83%HNO3 | 室溫 | 532h | |
| 王水 | 80℃ | 186h | |
| 大気中 | 1500℃ | 146h | |
| HCIガス | 1200℃ | 25h |
■不純物含有量
| 元素 | 濃度（単位：ppb） |
| Cu | ＜100 |
| K | ＜60 |
| Mo | ＜40 |
| Fe | 35 |
| Cr | 26 |
| Zn | 9 |
| Mn | 9 |
| W | ＜ 4 |
| Na | ＜ 2 |
| Co | 1.3 |
| La | 0.8 |
| Ag | 0.8 |
| Hf | 0.32 |
| Au | ＜0.09 |
| Sc | ＜0.01 |
