NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀，既有高精密度和準(zhǔn)確度的局部（Local）SPM掃描，又具備大尺度和高測量速度；既可用來獲得樣品表面垂直分辨率高達0.05nm的三維形態(tài)和形貌，又可以定量地測量表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積等參數(shù)。樣件無須專門處理，在高速掃描狀態(tài)下測量輪廓范圍可以從1nm 到10mm。該儀器的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋了薄膜/涂層、光學(xué)，工業(yè)軋鋼和鋁、紙、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介質(zhì)和半導(dǎo)體等幾乎所有的材料領(lǐng)域。美國AEP Technology公司主要從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備, MEMS檢測設(shè)備, 光學(xué)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測量解決方案行業(yè)的供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀技術(shù)特點常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合。雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖。針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。在掃描過程中彩色光學(xué)照相機可對樣品直接觀察。針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （zui小０.１nm ）軟件設(shè)置恒定微力接觸。簡單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面。應(yīng)用 三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機加工零件。薄膜和厚膜的臺階高度測量。劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量?？臻g分析和表面紋理表征。平面度和曲率測量。二維薄膜應(yīng)力測量。微電子表面分析和MEMS表征。表面質(zhì)量和缺陷檢測。