LW300MT硅芯片檢查顯微鏡專為微電子行業(yè)量身定做，適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查；可以方便的快移和精確的位移檢查；也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查
LW300MT硅芯片檢查顯微鏡技術(shù)參數(shù)
規(guī)格
目 鏡: 10X 廣角目鏡, 焦距25 mm, 視場數(shù)Φ22 mm。
三目鏡: 30°傾斜，瞳距：53~75 mm。
物 鏡: 無限遠平場消色差明/暗視場物鏡 （無蓋玻片）
| 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑 | 工作距離（mm） | 備注 |
| 5X | 0.12 | 9.70 | |
| 10X | 0.25 | 3.73 | |
| 20X | 0.40 | 7.23 | |
| 40X | 0.60 | 3.04 |
轉(zhuǎn)換器: 四孔滾珠內(nèi)定位轉(zhuǎn)換器。
載物臺: 雙層機械式載物臺, 尺寸：210 X 140 mm，移動范圍：75 X 50 mm。
聚光鏡: 阿貝聚光鏡（帶孔徑光欄, 數(shù)值孔徑1.25）。
調(diào)焦機構(gòu)：粗微同軸調(diào)焦，粗動手輪松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值2μm/格。
照 明: 上光源（落射照明）12V50W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
下光源（透射照明）12V30W 鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
電 源：輸入電源電壓 （85~265V 50/60Hz）。
技術(shù)參數(shù)
目 鏡: 10X 廣角目鏡, 焦距25 mm, 視場數(shù)Φ22 mm。
三目鏡: 30°傾斜，瞳距：53~75 mm。
物 鏡: 無限遠平場消色差明/暗視場物鏡 （無蓋玻片）
| 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑 | 工作距離（mm） | 備注 |
| 5X | 0.12 | 9.70 | |
| 10X | 0.25 | 3.73 | |
| 20X | 0.40 | 7.23 | |
| 40X | 0.60 | 3.04 |
轉(zhuǎn)換器: 四孔滾珠內(nèi)定位轉(zhuǎn)換器。
載物臺: 雙層機械式載物臺, 尺寸：210 X 140 mm，移動范圍：75 X 50 mm。
聚光鏡: 阿貝聚光鏡（帶孔徑光欄, 數(shù)值孔徑1.25）。
調(diào)焦機構(gòu)：粗微同軸調(diào)焦，粗動手輪松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值2μm/格。
照 明: 上光源（落射照明）12V50W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
下光源（透射照明）12V30W 鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
電 源：輸入電源電壓 （85~265V 50/60Hz）。
儀器維護
1. 擦拭機體與載物臺面
擦拭前應(yīng)從主電源插座中拔掉電源插頭，確保儀器電源斷開。然后用干凈柔軟的抹布蘸少許中性清潔劑擦拭機體與載物臺面。使用儀器前要請確認儀器干燥。
2. 光學(xué)部件
顯微鏡中的目鏡、物鏡中的鏡片都有鍍膜。請不要在非常干燥或大灰塵的環(huán)境下擦拭。擦拭時首先把可見的灰塵吹去，然后用棉簽或抹鏡紙蘸少許鏡片清潔劑或*擦拭鏡片表面，不可使用如二甲苯之類的溶劑擦拭鏡片。
3. 勿隨意拆卸顯微鏡！
顯微鏡是精密光學(xué)儀器，各零部件切勿隨便拆卸，以免損害其操作效能和精度。如有故障應(yīng)送專業(yè)維修部門或與供應(yīng)商。
4.不使用儀器時！
儀器不使用時，用有機玻璃或聚乙烯罩子罩上，并存放在干燥與沒有霉菌滋生的地方。物鏡和目鏡放在有干燥劑的密閉容器中。
