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智能傳感器(Smart Sensor)、智能執(zhí)行器和智能變送器-微傳感器(或微執(zhí)行器,或微變送器)和它的部分或全部處理器件、處理電路集成在一個(gè)芯片上的器件(例如上述的微加速度計(jì)的單芯片解決方案)。因此智能傳感器具有一定的仿生能力,如模糊邏輯運(yùn)算、主動(dòng)鑒別環(huán)境,自動(dòng)調(diào)整和補(bǔ)償適應(yīng)環(huán)境的能力,自診斷、 自維護(hù)等。顯然,出于規(guī)模生產(chǎn)和降低生產(chǎn)成本的要求,智能傳感器的設(shè)計(jì)思想、材料選擇和生產(chǎn)工藝必須要盡可能地和集成電路的標(biāo)準(zhǔn)硅平面工藝*??梢栽谡9に嚵鞒痰耐镀埃蛄鞒讨?,或工藝完成后增加一些特殊需要的工序,但也不應(yīng)太多。
在一個(gè)封裝中,把一只微機(jī)械壓力傳感器與模擬用戶接口、8位模-數(shù)轉(zhuǎn)換器(SAR)、微處理器(摩托羅拉69HC08)、存儲(chǔ)器和串行接口 (SPI)等集成在一個(gè)芯片上。其前端的硅壓力傳感器是采用體硅微細(xì)加工技術(shù)制作的。制備硅壓力傳感器的工序既可安排在集成 CMOS 電路工藝流程之前,亦可在后。這種智能壓力傳感器的技術(shù)和市場(chǎng)都已成熟,已廣泛用于汽車(機(jī)動(dòng)車)所需的各式各樣的壓力測(cè)量和控制單元中,諸如各種氣壓計(jì)、噴嘴前集流腔壓力、廢氣排氣管、燃油、輪胎、液壓傳動(dòng)裝置等。智能壓力傳感器的應(yīng)用很廣,不局限于汽車工業(yè)。目前,生產(chǎn)智能壓力傳感器的廠商已不少,市售商品的品種也很多,已經(jīng)出現(xiàn)激烈的競(jìng)爭(zhēng)。結(jié)果是智能壓力傳感器體積越來(lái)越小,隨之控制單元所需的外圍接插件和分立元件越來(lái)越少,但功能和性能卻越來(lái)越強(qiáng),而且生產(chǎn)成本降低很快。
順便需要說(shuō)說(shuō)的是,在一些中文資料中,尤其是一些產(chǎn)品宣傳性材料中,籠統(tǒng)地將Smart Sensor(或device)和Inligent sensor(或device)都稱之為智能傳感器,但在歐美文獻(xiàn)中是有所差別的。西方專家和公眾通常認(rèn)為, Smart(智能型)傳感器比Inligent(知識(shí)型)的智慧層次和能力更高。當(dāng)然,知識(shí)型的內(nèi)涵也在不斷進(jìn)化,但那些只能簡(jiǎn)單響應(yīng)環(huán)境變化,作一些相應(yīng)補(bǔ)償、調(diào)整工作狀態(tài)的,特別是不需要集成處理器的器件,其知識(shí)等級(jí)太低,一般不應(yīng)歸入智能器件范疇。
相信大多數(shù)讀者能經(jīng)常接觸到的,zui貼近生活的智能傳感器可能要算是用于攝像頭、數(shù)碼相機(jī)、攝像機(jī)、手機(jī)攝像中的CCD圖像傳感器了。這是一種非智能型傳感器莫屬的情況,因?yàn)镃CD 陣列中每個(gè)硅單元由光轉(zhuǎn)換成的電信號(hào)極弱,必須直接和及時(shí)移位寄存、并處理轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)的圖像格式信號(hào)。還有更復(fù)雜一些的,在中、高檔長(zhǎng)焦距(IOX)光學(xué)放大數(shù)碼相機(jī)和攝像機(jī)上裝備的電子和光學(xué)防抖系統(tǒng),特別是產(chǎn)品中的真正光學(xué)防抖系統(tǒng)。它的核心是雙軸向或3軸向的微加速度計(jì)或微陀螺儀,通過(guò)它監(jiān)測(cè)機(jī)身的抖動(dòng),并換算成鏡頭的各軸向位移量,進(jìn)而驅(qū)動(dòng)鏡頭中可變角度透鏡的移動(dòng),使光學(xué)系統(tǒng)的折射光路保持穩(wěn)定。
13 、TSGC稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號(hào):TSGC-500kg。
14 、TS稱重傳感器,適用于拉式測(cè)力裝置、機(jī)械設(shè)備計(jì)量。型號(hào):TS-30kg,TS-50kg,TS-100kg,TS-500kg,TS-1000kg,TS-1.5t。
15 、XZF-SS稱重傳感器,適用于軌道衡識(shí)別器、塞入式軌道衡。型號(hào):XZF-SS-200kN。
16 、HND-SS稱重傳感器,適用于拉式測(cè)力裝置、工業(yè)在線測(cè)力。型號(hào):HND-SS-3kb。
17 、HNDC-SS稱重傳感器, 適用于各種軸向測(cè)力場(chǎng)合。型號(hào):HNDC-SS-30klb,HNDC-SS-60klb,HNDC-SS-100klb。
18 、DCB稱重傳感器,適用于拉式測(cè)力裝置。型號(hào):DCB-40t。
19 、NB稱重傳感器,適用于吊鉤秤、拉式測(cè)力裝置。型號(hào):NB-2t,NB-3t,NB-5t,NB-10t,NB-15t,NB-20t,NB-30t。
20 、DF稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號(hào):DF-3t,DF-5t。
21 、DFF稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號(hào):DFF-10t。
22、 DFFB稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號(hào):DFFB-3t,DFFB-5t,DFFB-7.5t。
23 、BHS稱重傳感器,適用于吊鉤秤、料斗秤、包裝秤、過(guò)載限位。型號(hào):BHS-5t,BHS-10t,BHS-15t,BHS-20t,BHS-30t,BHS-50t,BHS-100t,BHS-150t。
24 、BHSP-A稱重傳感器,適用于拉式測(cè)力裝置。型號(hào):BHSP-A-1.5t。
25 、SCG稱重傳感器,適用于電氣設(shè)備控制系統(tǒng)。型號(hào):SCG-350kg,SCG-700kg,SCG-850kg,SCG-1300kg。
26 、SCK稱重傳感器,適用于皮帶秤、試驗(yàn)機(jī)、各種壓式測(cè)力場(chǎng)合。型號(hào):SCK-15kg,SCK-30kg,SCK-45kg,SCK-60kg,SCK-100kg,SCK-150kg。
27 、GZB稱重傳感器,適用于公路運(yùn)輸超重檢測(cè)。型號(hào):GZB-10t(即單軸20t)。
28 、GZE稱重傳感器。
29 、PB稱重傳感器,適用于吊鉤秤。型號(hào):PB-3.75kg,PB-7.5kg,PB-15kg,PB-37.5kg,PB-75kg,PB-150kg,PB-375kg。