真空度測試儀主要特點:
1、基于電離電荷的采樣技術
BS系列真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關間接關系。因此,我公司*了基于電離電荷的采樣技術,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。
2、高低壓管型測試
本機另外對測試電壓輸出應用了兩個檔位(高壓3萬低壓2.5),因此可對高低壓不同的各類管型時行有效測試。
3、內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當內部真空度和外加激勵電源一定時,其放電電荷量是不同的,并且有相當?shù)牟町?。為準確測量,對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內主要真空滅弧室生產廠家的密切合作,取得了幾乎國內外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數(shù)據,通過數(shù)學處理,將其特征參數(shù)送入BS系列產品。因此,BS系列產品內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內外同類產品中*的。
4、漏電電流的處理
對處于分斷狀態(tài)的真空滅弧室動觸頭加高壓靜觸頭端加負離子電流時,靜觸頭端會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預測性。并且在數(shù)值上與10E—4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用二次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
5、判別*漏氣的真空滅弧室
在BS-II型機中,通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。
6、完善的輸入保護電路
當真空滅弧室的真空度非常低時,測量時真空滅弧室會被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至負離子電流采樣電路上,使其承受十分強的電沖擊。BS-II的采樣電路增加了完備的保護電路,即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負離子電流采樣端居*時間,微電腦保護裝置會立即起控,使其進入保護狀態(tài),就不會造成電路嚴重的損壞。
7、數(shù)據記錄
內設微型打印機,可隨時打印出被測數(shù)據。
真空度測試儀工作原理:
BS系列真空度測試儀將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距,施加脈沖高壓,與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當測知離子電流后,通過離子電流一真空度曲線,由計算機自動完成真空度的計算,并顯示真空度值。
真空度測試儀測試方法:
真空度測試常見的有破壞性測試方法和無損檢測方法。破壞性測試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空,通過壓力(真空度)傳感器探測獲取真空度,該測試方法在一定程度上會受到管路中空氣的影響,可以用于真空度的粗略抽查,在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。典型的應用是用于粗略的進行密閉容器完整性測試(CCIT)評估,方法是將高真空的西林瓶(抽真空到接近0.1mbar)留樣半年到1年,然后觀察瓶內真空度。如果里面還有一定真空度,即里面的壓力是微負壓,說明瓶子是不漏的;相反,如果里面的壓力是常壓,說明瓶子是漏的。
如果是用于工藝的優(yōu)化和標準的制定,通常會采用無損的真空度測試方法。無損的真空度測試方法常見的是激光法(即調頻光譜法(FMS)),它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會在一定波段下有激光吸收,并且會得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質的含量成正比,其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬(波峰和波谷之間的橫向距離)和頂空總壓力成正比。因此,采用激光法能夠對容器進行無損真空度測試。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar,因此能測試出接近真實的真空度。
真空度測試儀技術參數(shù):
1. 真空度測量范圍: 9.999×10-1~1×10-5
2. 離子電流測量范圍: 9.999×10-1~1×10-7
3. 測量誤差: <10%
4. 測量分辨率: 10-5pa
5. 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃
6. 空氣濕度: ≤80%RH
7. 電源: AC/220V/50Hz±10%
8. 外型尺寸: 420×290×210(mm)
9. 高壓輸出: 脈沖30kV15kHz