產(chǎn)地：意大利ETG
簡介：
?全自動在線質量監(jiān)控系統(tǒng)
? 探測VOC含量
? 對污染物進行定性和形態(tài)分析
? 探測水平可達ppb以下
? 集成PC，支持數(shù)據(jù)處理
? 有機化合物探測水平可達ppb水平
 |
| μVOC-CAM型潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測儀 |
產(chǎn)地：意大利ETG ?全自動在線質量監(jiān)控系統(tǒng) ? 探測VOC含量 ? 對污染物進行定性和形態(tài)分析 ? 探測水平可達ppb以下 ? 集成PC，支持數(shù)據(jù)處理 ? 有機化合物探測水平可達ppb水平 ? 采樣點可多達16個 氣態(tài)分子污染物（AMC）是高科技制造行業(yè)非常關心的一個問題，特別是微電子行業(yè)。有機污染物會對生產(chǎn)工具產(chǎn)生不利的影響，zui終導致額外的花費。無污染的生產(chǎn)環(huán)境不只是空想，是可以付諸實踐的，但是需要對原材料和制造進程中的空氣過濾裝置進行嚴格的控制。*的空氣分子污染物監(jiān)測可以幫助穩(wěn)定生產(chǎn)，增加過濾裝置的使用壽命。 通過μVOC-CAM監(jiān)測儀，用戶可以長時間在線監(jiān)測氣態(tài)分子污染物的含量，而不需要像使用采樣器那樣只在某一個時間點進行測量。測量精度水平可達ppb水平以下。 探測精度水平持續(xù)保持在ppb以下：丁酮，*基硅烷，丙酮，乙醇，異丙醇，環(huán)己烷，乳酸乙酯，正己烷，乙苯，丁醇，醋酸乙酯，二甲苯，苯乙烯，苯，甲苯，六甲基二硅烷，丙二醇甲醚醋酸酯及其他組分。 運行原理：*以來，氣象色譜就是測量和分離復雜分子化合物的主要選擇。氣象色譜法取決于樣品的蒸發(fā)性以及色譜柱對不同組分的吸收能力。 組分被色譜柱洗脫后，由火焰離子檢測器（FID）對其電導性進行監(jiān)測，從而得到組分的含量。*的吹掃和采樣系統(tǒng)使探測水平可達ppb以下水平。 規(guī)格參數(shù)：測量原理：火焰電離氣相色譜法 尺寸（H×W×D）：160cmx60cmx80cm 外殼：NEMA 12或IP54有不銹鋼 操作溫度：10℃~ 35℃ 通訊：RS-232, 以太網(wǎng), ODBC 氣體要求：CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可選擇 H2發(fā)生器） 采樣通道：多達16通道 分辨率：0.1 ppb 探測組分：可多達30種，用戶自定義 測量范圍：0-200 ppb |
