一、brooks氣體質(zhì)量流量計概覽
Brooks的數(shù)字與模擬熱式質(zhì)量流量控制器具有業(yè)界*的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質(zhì)量流量設(shè)備在響應(yīng)時間、精度、可重復(fù)性、調(diào)節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。
我們的熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品還通過了多種防護（IP）認證，適用于多種危險場所。
二、brooks氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點
- 較低的泄漏率
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 內(nèi)螺紋排氣口拋光處理
- 常閉閥
- 對安裝位置不敏感
三、技術(shù)參數(shù)
- 數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
- 介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
- 流量范圍:0.03-30slpm
- 量程比：50:1
- zui大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
- 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
- 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
- 精度:±1%FS
- 重復(fù)性：0.25% of rate
- 響應(yīng)時間：1-3s
- 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān)）
- 操作溫度范圍：5~65℃
- 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
- 電源：+/-15V
?四、其他系列產(chǎn)品
- SLA5800S---數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計/控制器
- SLA5800 enhanced series
- 4800 series
- 5800S series
- 5851EM
