DMF 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器可對(duì)不同氣體的流量進(jìn)行編程，記錄，分析和控制?？刂破鞑捎昧酥惫軅鞲衅骱拖蘖髟@保證了層流氣體流量的精度與重復(fù)性。DMF 系列不受溫度和壓力變化的影響。
控制器可以針對(duì)不同的控制功能進(jìn)行編程，包括設(shè)定流量值，累計(jì)，終止累計(jì)，從預(yù)定值累計(jì)，終止和預(yù)定總數(shù)，自動(dòng)調(diào)零等等。自動(dòng)調(diào)零特性采用了自動(dòng)調(diào)零調(diào)整電路，這實(shí)際上消除了零漂和量程漂移。此外，DMF 系列控制器帶有兩個(gè)干式觸點(diǎn)對(duì)泵，閥門和其它設(shè)備進(jìn)行控制。DMF 系列的特點(diǎn)是有一自整定功能，它可以使對(duì)一定壓力下的特定氣體的調(diào)節(jié)達(dá)到*。在開(kāi)機(jī)時(shí)就進(jìn)行自診斷測(cè)試，從而保證控制器工作在*工況下。控制器中儲(chǔ)存了多達(dá)10 種的氣體校準(zhǔn)信息和256 種不同氣體的轉(zhuǎn)換因數(shù)。氣體流量高低速限制警報(bào)器經(jīng)由RS-485 接口進(jìn)行編程。流量模式有相應(yīng)軟件的支持，它允許執(zhí)行多達(dá)十條指令的自定義程序。
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)：與材質(zhì)兼容的潔凈氣體
材質(zhì)：316 不銹鋼，416 不銹鋼，Viton? O 形環(huán)。
精度：±1% FS 包括線性度59 - 77°F（15 - 25°C）和10 -
60 Psia（0.7 - 4 Bar）；±2% FS 32 - 122°F（0 - 50°C），
5 - 150 Psia（0.3 - 10 Bar）
重復(fù)性：±0.15%（全量程）
響應(yīng)時(shí)間：在20% - FS 以上設(shè)定值的±2% 以內(nèi)為
0.6 - 1.0 秒
輸出：線性0 - 5 直流電壓（2000 Ω 小負(fù)載阻抗）；0-10
直流電壓（4000 Ω 小負(fù)載阻抗）
zui大微粒直徑：100 微米
溫度范圍：41 - 122°F（5 - 50°C）
電源：±15直流電壓；zui大功率13.5 瓦
工藝連接：在流速≤50 L/M 時(shí)，采用1/4? 壓緊接頭；流速
≥60 L/M 時(shí)則用3/8?
壓力范圍：500 Psig（34.5 Bar）
漏率：1 X 10-9 Sccs Of Helium
計(jì)算機(jī)接口：RS-485
認(rèn)證機(jī)構(gòu)：CE
| 型號(hào)* | 量程型號(hào)* | 量程 | |
| DMF-41401 | 0 To 10 Sccm DMF | 41408 0 To 2 L/Min | 0 To 10 Sccm DMF |
| DMF-41402 | 0 To 20 Sccm DMF | 41409 0 To 5 L/Min | 0 To 20 Sccm DMF |
| DMF-41403 | 0 To 50 Sccm DMF | 41411 0 To 15 L/Min | 0 To 50 Sccm DMF |
| DMF-41404 | 0 To 100 Sccm DMF | 41431 0 To 30 L/Min | 0 To 100 Sccm DMF |
| DMF-41405 | 0 To 200 Sccm DMF | 41433 0 To 50 L/Min | 0 To 200 Sccm DMF |
| DMF-41406 | 0 To 500 Sccm DMF | 41842 0 To 100 L/Min | 0 To 500 Sccm DMF |
| DMF-41407 | 0 To 1 L/Min |
*流量刻度是由當(dāng)量氮?dú)庠?0°F (21°C) @ 760 Mm Hg 的條件下標(biāo)定的。
附件
型號(hào)DMF-110P 110V 電源，25 插腳連接器
型號(hào)DMF-220PE 220V 電源，25 插腳連接器
型號(hào)DMF-CBL1 6 Ft 電纜，具有獨(dú)立的電源支路
型號(hào)DMF-CBL2 6 Ft 電纜，具有與計(jì)算機(jī)端口相連的支路
