美國MKS真空計 MKS 902系列壓電壓力真空計
MKS 902壓電換能器結(jié)合了基于MEMS技術(shù)的壓電傳感器和金屬密封壓力測量技術(shù)316不銹鋼膜片和集成電子學(xué)。該902b提供經(jīng)濟(jì)，壓力測量是獨(dú)立的氣體的類型。用測量范圍為0.1到1000乇滿刻度，該傳感器是一個廣泛的應(yīng)用范圍，包括半導(dǎo)體制造，薄膜涂層，冷凍干燥，分析儀器，醫(yī)療設(shè)備，汽車和航空航天。
美國MKS真空計 MKS 902系列壓電壓力真空計優(yōu)勢：
0.1至1000乇的全面•測量范圍
• Low cost transducer alternative to more expensive conventional transducers
•低成本傳感器替代更昂貴的傳統(tǒng)傳感器
• Gas independent pressure measurement for accurate, total pressure measurement
•氣體獨(dú)立的壓力測量準(zhǔn)確，總壓測量
• Sensor is suitable for harsh processes due to robust design and stainless steel construction
•傳感器，適用于惡劣的過程由于強(qiáng)大的設(shè)計和不銹鋼結(jié)構(gòu)
• Solid state Piezo sensor resistant to damage from air inrush and vibrations
•固態(tài)壓電傳感器的抗空氣涌流和振動損傷
• Compact system design with integrated electronics and sensor in one unit
•緊湊的系統(tǒng)設(shè)計與集成電子在一個單元中的傳感器
• Mountable in any orientation for ease of installation
•安裝在任何方向，安裝方便
• Reduced process cycle time due to sensor’s fast, accurate and repeatable pressure measurements
•過程的周期時間減少由于傳感器的快速，準(zhǔn)確和可重復(fù)的壓力測量
• Ease of operation with both analog output and digital communication
兩個模擬輸出和數(shù)字通信操作•緩解
• Multiple analog output emulations available
多個模擬量輸出的仿真提供•
• Process control from up to three set point relays with fast response time
•過程控制從三點(diǎn)繼電器具有快速響應(yīng)時間
• Display version available
•顯示版本
• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC and RoHS
•CE標(biāo)志，符合EMC指令2004／108／EEC指令
美國MKS真空計 MKS 902系列壓電壓力真空計應(yīng)用：
902b適合無菌環(huán)境因為暴露在真空中*的材料是不銹鋼316。這包括冷凍干燥過程和等離子體滅菌醫(yī)療設(shè)備。該902b具有*的性能價格比，使它更昂貴的傳統(tǒng)傳感器的一個很好的選擇，尤其是在應(yīng)用中的測量精度zui高的是不需要的。這包括真空包裝在食品工業(yè)和真空爐。該902b能抵御惡劣的環(huán)境，重力和機(jī)械振動。這是一個一般的前級真空測量應(yīng)用的很好的候選人。數(shù)字通信接口，輸出模擬仿真，三點(diǎn)的選擇和緊湊的設(shè)計使得902b通用傳感器，易于集成在大多數(shù)的真空系統(tǒng)。
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