瑞士Inficon英?？嫡婵沼? HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計
INFICON 高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計, HPG400, 將高壓強(qiáng)熱電離和皮拉尼傳感器組合在一個簡單,小型,經(jīng)濟(jì)的組裝件中,測量壓強(qiáng)范圍從 2 x 10-6 毫巴至大氣壓(1.5 x 10-6 乇至大氣壓). HPG400 提供高度可重復(fù)和可再生的壓強(qiáng)測量用于精確的濺射過程壓強(qiáng)控制.
瑞士Inficon英?？嫡婵沼?/span> HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計
INFICON 高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計, HPG400, 將高壓強(qiáng)熱電離和皮拉尼傳感器組合在一個簡單,小型,經(jīng)濟(jì)的組裝件中,測量壓強(qiáng)范圍從 2 x 10-6 毫巴至大氣壓(1.5 x 10-6 乇至大氣壓). HPG400 提供高度可重復(fù)和可再生的壓強(qiáng)測量用于精確的濺射過程壓強(qiáng)控制.
瑞士Inficon英福康真空計 HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計優(yōu)勢：
HPG400 節(jié)省成本和工具空間和減少真空系統(tǒng)安裝和設(shè)置的復(fù)雜性
高壓強(qiáng)熱電離真空計提供精確,可靠的壓強(qiáng)測量從1 x 10-5 至 1 毫巴, 用于改進(jìn)的過程控制
用戶可選的熱離子發(fā)射作用于 5 x 10-2 與 1 毫巴之間
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱燈絲防止過早燒毀
可選圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
自動高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)
RoHS 兼容性
瑞士Inficon英?？嫡婵沼?/span> HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計應(yīng)用：
濺射應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,電子學(xué)和介質(zhì)工業(yè)中
工業(yè)鍍膜
一般真空測量和控制在低至高真空范圍
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