產(chǎn)品特點(diǎn):
● 技術(shù)的CMOS傳感器設(shè)計(jì),杜絕了零點(diǎn)漂移的問題。
● 小于150ms的超快速的響應(yīng)時(shí)間。
● 5sccm到450slm的量程范圍內(nèi)確保了精確和可重復(fù)的流量測(cè)量和控制
● 高精度的測(cè)量精度(讀數(shù)值的0.5%+0.3%的全量程)
● *的內(nèi)部抗紊流設(shè)計(jì),可以消除因上游的壓力變化而導(dǎo)致下游氣體流量的變化。
● 多達(dá)6個(gè)點(diǎn)的流量校準(zhǔn)點(diǎn),比很多其他品牌流量計(jì)5個(gè)點(diǎn)的校準(zhǔn)點(diǎn),意味著更好的線性度;特別是在0-20%的流量控制范圍。
● 只有1秒的熱機(jī)時(shí)間,減少因MFC預(yù)熱時(shí)間而影響生產(chǎn)
● 全量程1%-的超寬量程比控制,為用戶提供更廣的應(yīng)用選擇
● 可以顯示流量設(shè)定值,實(shí)際測(cè)量值,氣體類型以及累積氣體消耗量等信息,同時(shí)可以測(cè)量所控制氣體的溫度。
● 不銹鋼的表面處理、潔凈室要求的處理,和zui少的橡膠密封件使用保證了在清潔工藝中的使用要求。
● 可提供Analog(0-5VDC,4-20mA),Profibus DP,RS485/Modbus等控制方式,
● 可提供16種氣體的多氣體/多量程的設(shè)置
● 3年超長的質(zhì)量保證
● 符合歐洲CE,EMC標(biāo)志
OEM版本
同時(shí)瑞士Vogtlin質(zhì)量流量控制器還有OEM的版本,是專門為設(shè)備商而量身定做的,為設(shè)備商提供諸如氣體3進(jìn)1出,4進(jìn)一出,或者1進(jìn)3出,1進(jìn)4出,zui多可以集成12路氣體,以及流量控制器的入口和出口表面安裝方式等氣體混合解決方案,大大減少了管路的占用和氣體分配系統(tǒng)的空間,具體的應(yīng)用要求,請(qǐng)
同時(shí)瑞士Vogtlin質(zhì)量流量控制器還有OEM的版本,是專門為設(shè)備商而量身定做的,為設(shè)備商提供諸如氣體3進(jìn)1出,4進(jìn)一出,或者1進(jìn)3出,1進(jìn)4出,zui多可以集成12路氣體,以及流量控制器的入口和出口表面安裝方式等氣體混合解決方案,大大減少了管路的占用和氣體分配系統(tǒng)的空間,具體的應(yīng)用要求,請(qǐng)與我們。