2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥
2179A是通用彈性體密封質(zhì)量控制器和完整的截止閥。用于各種氣體測量和控制流量。當連接到一個合適的壓力傳感器它可以用作壓力控制器。截止閥狀態(tài)為常閉，閥精確率4x10-9scc/sec。2179A輸出信號有模擬和數(shù)字模擬。滿量程的精度為1%。2179A所需功率低單位操作100mA消耗為±15VDC（200mA開啟）。
2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥
例如：型2179a00411cr16vxx
氣體選型 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, O2 | 015 |
流量選型，單位SCCM（zui大20000 N2當量） | |
10 | 11C |
20 | 21C |
50 | 51C |
100 | 12C |
200 | 22C |
500 | 52C |
1000 | 13C |
2000 | 23C |
5000 | 53C |
10000 | 14C |
20000 | 24C |
配件 | |
標準：（兼容）Swagelok® 4 VCR® male | R |
可選：（兼容）Swagelok 4 VCO® male | G |
可選：（兼容）Swagelok 1/4" tube | S |
長度適配器w/ 4 VCR配件 | L |
長度適配器w/ 1/4" Swagelok配件* | W |
閥 | |
常閉 | 1 |
連接器 | |
模擬： | |
9針“D”類型 | A |
15針“D”類型 | B |
20針邊緣卡 | C |
單元組合儀表15針“D”類型 | N |
微孔15針“D”類型 | T |
連接器 | |
數(shù)字： | |
RS-485 | 5 |
DeviceNet™ | 6 |
密封 | |
標準：Viton® | V |
可選：Neoprene® | N |
可選：Buna-N | B |
可選：Kalrez® | K |
固件版本（DeviceNet只） | |
除非另有規(guī)定，MKS公司將給當前的版本 | XX |
2179A的接線方式：
CB147-12-10連接2179 9針 “D”型PR4000，246，247，647
CB259-5-10連接2179 15針 “D”型246，247
CB147-1-10連接2179 15針 “D”型PR4000，647
CB259-10-10連接2179 20針的邊緣卡246，247
CB147-7-10連接2179 20針的邊緣卡PR4000，647
