系統(tǒng)簡單配置如下:
Load lock
真空系統(tǒng): 機械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
離子槍: DC / RF
均勻性:100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性優(yōu)于+/-2%
襯底尺寸:4英寸襯底(4-12英寸可選),水冷。
終端檢測系統(tǒng):SIMS 或激光干涉儀。
控制方式:全自動電腦控制,半自動或手動控制可選。
詳細信息和資料,請!
上海續(xù)波光電技術有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產(chǎn)品進口的技術貿(mào)易服務型公司,公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關系;目前服務于國內(nèi)從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。主要產(chǎn)品包括:濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備,紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品,光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。
系統(tǒng)簡單配置如下:
Load lock
真空系統(tǒng): 機械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
離子槍: DC / RF
均勻性:100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性優(yōu)于+/-2%
襯底尺寸:4英寸襯底(4-12英寸可選),水冷。
終端檢測系統(tǒng):SIMS 或激光干涉儀。
控制方式:全自動電腦控制,半自動或手動控制可選。
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產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
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