掃描白光干涉顯微儀 | ||
產(chǎn)品特點(diǎn)及用途 | ||
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn),可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含: | ||
● 晶體(Wafer) ● 光盤/硬蝶(DVD Disk/Hard Disk) ● 平面電組件(MEMS Components) ● 平面液晶顯示器(LCD) ● 高密度線路印刷電路板(HDI PCB) ● IC封裝(IC Package) 以上其它材料分析與組件微表面研究 | ||
專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟件(Post Topo) | ||
● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析 ● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能 ● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式 ● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Rorghness)與起伏度 (waviness)的測(cè)量分析??商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù) ● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能。 ● 量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
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