機器測量范圍 | Z軸(縱方向) | ±400μm |
X軸(橫方向) | 100mm | |
精度 | Z軸測定分辨率 | 800μm/0.01μm – 25μm/0.004μ m6.4μm/0.0001μm(選配高倍率傳感器) |
X軸測定分辨率 | 100mm/0.04μm 或32,000點 | |
直線精度 | (0.05 + 1.5L / 1000) μm L=測量長度 (mm) | |
記錄 | 縱倍率 | 50--500,000倍(可任意選擇或自動選擇) |
橫倍率 | 0.1--20,000倍(可任意選擇或自動選擇) | |
速度 | 立柱上下(電動) | 3--10mm/s、手動 |
驅(qū)動速度(X軸) | 0.03--6mm/s、手動 | |
測量速度(X軸) | 0.03--6mm/s |