采用L型移動(dòng)橋式,由兩到三個(gè)高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌,左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動(dòng)橋,提高了運(yùn)動(dòng)質(zhì)心,減少了阿貝誤差
X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過(guò)表面硬質(zhì)陽(yáng)極化處理的航空鋁合金u
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌u
Z軸采用的可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問(wèn)題,提高了測(cè)量機(jī)的精度和*穩(wěn)定性u
各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶,確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位u
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌*受磨損u
三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um;同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮u 采用IDC-II控制系統(tǒng),21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能,保證了大型機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度u
測(cè)量機(jī)三軸都配置溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)控溫度變化,自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差u
軟件為業(yè)界的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM),功能強(qiáng)大,易學(xué)高效u