特點
*測量范圍寬:1×103 ~1.6×1016Ω
?。獪y試夾具穩(wěn)定:比電阻盒,元件測試夾具
?。獪y量速度高:10ms
?。礈y試順序編程
?。嬎汶娮杪?
*被測器件可接地測量
規(guī)格
測量參數(shù):R(直流電阻),I(直流電流),ps(表面電阻率),pv(體電阻率)
數(shù)學(xué)功能:偏差和百分偏差
顯示數(shù)字:3,4或5位(可選擇)
測試電壓:0.1 ~ 1000Vdc
0.1 ~ 200Vdc時,以0.1V步進
0.1 ~ 1000Vdc時,以1V步進
電壓精度:≤200V時為0.16%+100mV
?。?00V時為0.16%+500mV
大電流:≤100V時為10mA;≤250V時為5mA
≤500V時為2mA;≤1000V時為1mA
電流相容性調(diào)定:0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA
輸出電阻:1KΩ±10%
輸入電阻:1KΩ±10%
測試電纜長度:2 m?。ù笾担?
測量范圍和精度:
直流電流:60fA~100uA 基本精度:±0.4%
直流電阻:1×103 ~1.6×1016Ω 基本精度:±0.6%
測量時間:短:10ms;中:30ms;長:390ms
修正功能:
開路誤差為0:消除由測試夾具中雜散寄生電阻引起的測量誤差
測試序列程序:控制一系列電阻測量。充電時間、測量間隔時間和測量次數(shù)可以編程。
比較功能:對測量參數(shù)設(shè)立高/符合/低界限
接觸檢查功能:
1、 可以檢測測試夾具與器件之間的接觸故障
2、 可提供的被測器件(DUT)類型
其它功能:
1、 存儲/調(diào)用:可以由內(nèi)部非易失存儲對10種儀器設(shè)置進進存儲/調(diào)用
2、 連續(xù)存儲功能:若儀器被切斷或發(fā)生電源故障,儀器設(shè)置將自動被存儲起來
3、 GPIB接口:所有控制設(shè)置,被測值和比較器信息
一般指標(biāo)
電源要求:90 ~ 132V或198 ~ 264V,47 ~ 66Hz,45VAmax
工作溫度:0℃ ~ 45℃
尺寸:320(寬)×100(高) ×450(長)mm
重量:6.5kg