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雙模式三維形貌儀
特點(diǎn)：一臺(tái)設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡
 
白光干涉
 
白光干涉能夠進(jìn)行高分辨率圖像的掃描，對(duì)表面進(jìn)行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測(cè)量粗糙或者光滑的樣品表面。
 
•      的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)高Z向分辨率
 
•      白光干涉法和相移兩種模式實(shí)現(xiàn)Z方向的高分辨率。
•      快速圖像處理系統(tǒng)達(dá)到400萬(wàn)像素
   四色LED相機(jī)
 
•      更大的垂直測(cè)量范圍達(dá)10毫米
 
•      150 mmx150mm馬達(dá)控制平臺(tái)。
 
•      樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結(jié)構(gòu)測(cè)量，如陶瓷、塑料和輥鋼。
 
•      SPIP專(zhuān)業(yè)數(shù)據(jù)分析軟件
原子力顯微鏡
 
探針式輪廓測(cè)量能夠進(jìn)行材料在納米尺度水平的測(cè)試。提供掃描范圍70 x70um，探針更換簡(jiǎn)單。
 
•      的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)Z和XY方向上的高分辨率
 
•      X,Y和Z方向上納米級(jí)的分辨率和精度。
•      線(xiàn)性XY壓電陶瓷掃描
 
•      包括振動(dòng)和不振動(dòng)的模式
 
•      可選的側(cè)向力和相位模成像