通徑12mm 機(jī)械接口NPT1/2 流量范圍 0~200SLPM 精度2%MEMS流量測(cè)量技術(shù)應(yīng)用
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矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )成立于2003年,公司總部位于美國(guó)加州硅谷。矽翔公司是目前世界*生產(chǎn)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計(jì)并使之產(chǎn)品化的廠商。其核心部件一MEMS流量芯片及其封裝技術(shù)由公司自主研發(fā),可用于各類氣體及微流體的流量計(jì)量和測(cè)控,為傳統(tǒng)的流體計(jì)量帶來了根本性變革,提供了全新的拓展空間。傳感器可測(cè)量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對(duì)不同的應(yīng)用,傳感器可用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及介質(zhì)流速。專門設(shè)計(jì)的電路具有放大及微小信號(hào)處理功能以保證高精度輸出。
不同于其它MEMS傳感技術(shù),矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司在單個(gè)傳感芯片上集成多個(gè)傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理,在保證傳感器的靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時(shí),傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)(溫度分布)。當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí),溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場(chǎng)變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量,通過校準(zhǔn),專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計(jì)介質(zhì)體積流量。
矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司的流量傳感器可采用多種形式的封裝,從而增加了其應(yīng)用的廣泛性。
矽翔公司基于MEMS 技術(shù)的流量芯片廣泛應(yīng)用于醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備,工業(yè)制造業(yè)用氣測(cè)量及過程控制,環(huán)保等多個(gè)領(lǐng)域;在醫(yī)院中心供氧、制氧設(shè)備、分床計(jì)費(fèi)系統(tǒng),食品加工,科學(xué)氣體分析儀器,樓宇自控,民用健身、保健設(shè)備等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用;在全新的燃料電池等*科技領(lǐng)域亦有不可替代的應(yīng)用。 目前,產(chǎn)品已銷售到美國(guó)、日本、歐洲、南美、大洋洲、東南亞等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。
矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質(zhì)量流量計(jì)》起草單位之一。 以此同時(shí),我們對(duì)產(chǎn)品要求也是:
品質(zhì)保障
嚴(yán)格的品質(zhì)管理體系來保障每一產(chǎn)品的質(zhì)量是矽翔公司的首要任務(wù)。
用戶*
竭力滿足客戶的需求并使產(chǎn)品及其服務(wù)與客戶的應(yīng)用達(dá)到*的結(jié)合是矽翔公司的首要任務(wù)。
技術(shù)*
為客戶提供*水平的產(chǎn)品是矽翔公司的基本宗旨。
質(zhì)量方針
創(chuàng)新技術(shù),*品質(zhì);信賴服務(wù),持續(xù)改進(jìn)。
通徑12mm 機(jī)械接口NPT1/2 流量范圍 0~200SLPM 精度2%MEMS流量測(cè)量技術(shù)應(yīng)用
產(chǎn)品名稱 | 參考價(jià) | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時(shí)間 | |
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