AX10FD微小氣體流量計(jì) AX10FD低耐壓型質(zhì)量流量計(jì) AX10FD氣體流量控制器
AX10FD采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。
顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標(biāo)準(zhǔn)配置,具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過(guò)面板操作,可以完成以下內(nèi)容:氣體選擇、單位選擇、量程設(shè)定,報(bào)警點(diǎn)設(shè)定,閥門狀態(tài)、自動(dòng)校準(zhǔn)等。
與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),AX10FD沒(méi)有附加的“比熱容”誤差。所以,即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。
產(chǎn)品應(yīng)用
產(chǎn)品廣泛用于真空,鍍膜,太陽(yáng)能,半導(dǎo)體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析儀器等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 普通低壓型,適于1Mpa以下非腐蝕的清潔氣體
● 無(wú)熱漂移,可以忽略的溫移和時(shí)漂,*穩(wěn)定性0.1%F.S/年
● 準(zhǔn)確度0.8%,量程可在100:1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定,無(wú)需標(biāo)定
● 瞬時(shí)和累計(jì)流量、壓力、溫度可同時(shí)顯示和輸出
● 無(wú)需預(yù)熱,測(cè)量時(shí)無(wú)響應(yīng)滯后
● 內(nèi)置31種氣體轉(zhuǎn)換系數(shù),無(wú)比熱容附加誤差,不影響精度
● 自動(dòng)累計(jì),分段累計(jì)功能
技術(shù)指標(biāo) AX10FD質(zhì)量流量控制器 AX10FD質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM
控制范圍 控制器50:1 流量計(jì)100:1
準(zhǔn) 確 度 流量:±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程
可選±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程
壓力:0.5%F.S 溫度:±1℃
線 性 ±0.5%F.S
重復(fù)精度 ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間 100ms 10ms
數(shù) 字 量 RS232/485,MODBUS協(xié)議
模 擬 量 0~5V、4~20mA、1~5V
供電 12V/24V/±15V可選
工作溫度 0~50℃
工作壓力 工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa
zui大耐壓 1MPa
電氣連接 DB15孔
漏 率 1×10-9SccsHe
溫度系數(shù) ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì) 316L
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接 頭 VCR1/4;swagelokφ6