勻膠機(jī)又稱甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、真空鍍膜機(jī),其總體由在上SOL-GEI技術(shù)的美國凱美特技術(shù)公司(CHEMAT TECHNOLOGY, INC) 設(shè)計(jì)完成。其主要關(guān)鍵元器件由美國進(jìn)口,整機(jī)裝配由上海凱美特公司安裝調(diào)試完成。該機(jī)2002年已通過CE認(rèn)證,其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為:當(dāng)該勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時,它不影響同處一室的其他設(shè)備,以保證其他設(shè)備的正常使用(如指針不漂移等受干擾后有影響的反應(yīng));同時它本身也不會受到其他同處一室的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場的干擾。從而保證實(shí)驗(yàn)效果的穩(wěn)定性和可靠性。另外由于本公司采取了一些特殊的工藝手段,保證了轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動時平穩(wěn)性, 從而保證了制備出來的膜層厚度均勻性。上述證明凱美特公司的勻膠機(jī)能使實(shí)驗(yàn)具有良好的重復(fù)性、*性、穩(wěn)定性。由于美國CHEMAT公司從1990年以來一直從事于溶膠-凝膠(SOL-GEL)技術(shù)、工藝、及設(shè)備的研究、開發(fā)。公司根據(jù)對這技術(shù)和工藝的深刻了解所研發(fā)出的薄膜制備設(shè)備系列產(chǎn)品(滴膠機(jī)KW-4AD、勻膠機(jī)KW-4A、烤膠機(jī)KW-4AH、紫外固化機(jī)KW-4AC、雙面膜提拉機(jī)Dip Master 50型、100型、200型、眼鏡片鍍增透膜、加硬膜、鏡面膜系列設(shè)備),十多年來以優(yōu)良的品質(zhì)及良好的售后服務(wù)中國、歐美、新加坡、韓國、日本以及中國臺灣地區(qū)等經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)國家和地區(qū)。
KW—4A型勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝,主要應(yīng)用于溶膠-凝膠(sol-gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
★ 本機(jī)具有以下特點(diǎn):
1.電機(jī)勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電,電樞用運(yùn)放控制IRF830調(diào)速,它比可控硅調(diào)速*,故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
2.本勻膠機(jī)有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩檔速度及運(yùn)行時間分別可調(diào)。
3.本勻膠機(jī)采用光電檢測,數(shù)字電路測速,對電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測快速準(zhǔn)確。電機(jī)穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路,使整機(jī)在高達(dá)8000RPM以上轉(zhuǎn)速時仍十分穩(wěn)定,有力的保證了勻膠質(zhì)量。
4.“吸片”采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機(jī)工作,提高效率。
5.勻膠機(jī)定時采用可調(diào)定時電路控制,面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時間。
6.在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,因而勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音很低。
7.電磁閥與電機(jī)運(yùn)行有連鎖功能,電磁閥未動作不能啟動電機(jī)運(yùn)行,本次勻膠電機(jī)未停不能進(jìn)行下次勻膠,若運(yùn)行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣,即不會產(chǎn)生跑片。
由于采用了以上一系列措施,故本機(jī)具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動性,可以保證涂覆表面均勻,并可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
★ 技術(shù)指標(biāo):
SpeedⅠ調(diào)速范圍 500—2500轉(zhuǎn)/分
TimerⅠ勻膠時間 3—18秒
SpeedⅡ轉(zhuǎn)速范圍 800—8000轉(zhuǎn)/分
TimerⅡ勻膠時間 3—60秒
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%
電源電壓(二種) 220v/ 50Hz或110v /50Hz