測(cè)定精度 | Z:±(2.5+0.5×IHI)μm以下 H:変位(mm) X:±(2.5+0.02L)μm以下 L:測(cè)定長(zhǎng)さ(mm) |
分解能 | Z:0.25μm Xスケール:0.1μm |
サンプリング數(shù)/zui小間隔 | Max 64,000點(diǎn)/Min 0.5μm |
測(cè)定範(fàn)囲 | Z:30mm X:50mm |
表示倍率 | 縦(Z)、 橫(X):1~2,000倍 |