表面粗さ | |
解析パラメータ | 46種 |
測定範(fàn)囲 | Z:600μm X:100mm |
觸針 | R2μm 0.7mN |
輪郭形狀 | |
解析項目 | 要素/スカラ量/非球面/ボールねじ/マスタ比較 |
測定範(fàn)囲 | Z:50mm X:100mm |
觸針 | R25μm 30mN以下 |