表面粗さ | |
測(cè)定範(fàn)囲/分解能 | Z:800μm/0.08nm |
送り速さ | 0.05~2mm/s |
觸針 | R2μm 0.75mN以下 |
輪郭形狀 | |
測(cè)定精度 | Z:±(2.5+0.5×l H l)μm以下 H:変位(mm) X:±(2.5+0.02L)μm以下 L:測(cè)定長(zhǎng)さ(mm) |
測(cè)定範(fàn)囲 | Z:30mm X:510mm |