產品型號: EX-3000
品牌:日本電測
產品簡介:
本機能精確測量極細小物件鍍膜厚度,可進行單層及多層膜厚測定、合金膜厚成份比同時測定及無素的光譜峰值測定分析。
主要技術參數(shù):
儀器特點:
搭載MS-WINDOWS系統(tǒng)(*的操作性與高精度測定)
使用與IBM PC兼容個人電腦,采用MS-WINDOWS軟體,使用時多彩多姿。
采用二種濾波器
用用數(shù)位式濾波器外另有機械式濾波器(兩種濾波器),在測定時,若是zui適當?shù)臈l件下,
經??傻玫絲ui高的精度。
準值儀5種孔徑內藏式
zui小的準值儀孔徑僅0.1 mm,可測定極微小的部品。
標準:0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規(guī)格可供選購。
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5
自動測定測量臺
利用鼠標來調整測量位置,非常敏捷快速?;蚴菧y量位置已完成登陸時,可連續(xù)自動測定,
利用座標補正、連結頻道,來應付各種測量軌跡。亦可用自動測定來作標準片校正。
*的顯示機能
測定部顯示盡像的表示
X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準儀照射測定物的位置,可由倍率
率更機能來實現(xiàn)盡面上測出物放大。
在膜厚測定中的能譜表示
由多頻分析器可快速處理能譜分析??蓤?zhí)行測定物的能譜分析表示,操作簡單。
提長資料處理的速度
充實測量報告的作成機能
采用MS-WINDOW軟件,測定畫的擷取,非常簡便,可充襯測量報告的制作機能。可同時間
隔處理多項工作,機器在測量中亦可處理其它工作:包括如測量報告的制作。
測定物膜厚附著分布表示
以三次元圖案來表示測定物膜厚附著狀態(tài)的分布,作判定時一目了然。 獲得安心的保證性。
自己診斷機能及X線管保食機能
自己診斷機能,迅速的對策來排除機器的因擾。附有X線管的使用時間及耐久時間表示機能,
可加強保養(yǎng)的安全性。
儀器詳細介紹:
1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓,可變管電壓。
2. 照射方式:由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器:比例計數(shù)管。
4. 濾波器:采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)字式濾波器,可單一或同時使用。
5. 準直儀:Collimator 采用五種孔徑一體成型式,可自動切換使用。
0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜.
(選購) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜.
(選購) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜.
6. 樣品觀測系統(tǒng):彩色CCD及高畫質顯示屏。
7. 多能譜分析器:使用256高頻分析器,光譜自動分析,在執(zhí)行測量及運算時,非??焖?。
貳. 計算機操作部:
8. 計算機系統(tǒng):(※僅供參考)
IBM 兼容中文個人計算機.
CPU:In Celeron 1GHz.
RAM:128 MB.
Floppy Disk:3.5 ×1, 40倍速 CD-ROM ×1.
Hard Disk:40 GB.
17" 高畫質顯示屏.
EPSON彩色噴墨式打印機。
9. 本機型(CO**OS-1X系列)之操作系統(tǒng)采中文窗口(Windows98)對話式操作,非常簡便。
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參. 特性說明:
10. 測量項目:
單層膜厚測定.
2層膜厚測定.
3層膜厚測定.
無電解鎳膜厚測定.
合金膜厚成份比同時測定.
元素的光譜峰值測定分析.
11. 測量材質:原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發(fā)法測量。 原子序22以下為吸收法測量。
12. 測量范圍:原子序22 ~ 24 , 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 , 約 0.1 ~ 30 um. 原子序
41 ~ 51 , 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 , 約 0.05~ 10 um.
13. 測量機能:
同一點重復測定機能
輸出形式設定.
能譜測定.
14. 測量條件或膜厚規(guī)格可以保存.
當要測量相同的制品時,若測量條件已儲存,可以馬上進行測量。
zui大檢量線檔案數(shù):可登錄儲存100組檔案。
zui大測量檔案數(shù) :可登錄儲存300組檔案。
15. 檔案記錄:
每一個批號可儲存無限個測量數(shù)據(jù).(因所使用的計算機之容量大小而定)
每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.
每個批號可單獨執(zhí)行統(tǒng)計處理.
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每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).
16. 數(shù)據(jù)處理:
統(tǒng)計值表示:平均值、標準偏差、zui大值、zui小值、上下限值范圍、Cp、Cpk。
X-R 管制圖.
柱狀圖:有自動設定及自己任意設定二種方式。
可彩色打印觀物顯示屏上所觀測之圖像。
17. 底材補正:當樣品與標準片的底材不同時,可作底材補正。
18. 觀物顯示屏:十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。
肆. 安全裝置.
19. 本機俱有自動安全斷電系統(tǒng)功能.
20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出,以防止外人任意操作.
伍. 其它機能.
21. 密碼辨識功能
22. 裝置維護調整.
23. 測量部主機: 尺寸:362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜.
重量:約 44.2 Kg.
24. 操作部:(※僅供參考)
計算機尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量:約 8.8 Kg.
顯示屏尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量:約16.5 Kg.
打印機尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量:約 4.3 Kg.
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柒. X-Y-Z軸可移動式測量臺.
25. 測量臺尺寸及移動量.
測量臺尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜
移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜.
26. 測量樣品限制.
樣品限制高度: 45㎜
樣品限制重量: 3 Kg.
捌. 使用電源.
27. 電壓: AC100V ±10V ; 50/60Hz
(選購) AC110V, AC220V.
28. 容量: 700V