EXT255DX Edwards EXT復合渦輪分子泵
性能特點
兼容TIC渦輪儀表控制器。
多種通訊模式。
*并口,用于傳統(tǒng)控制信號接口
* 串口,用于RS-232接口。
通過RS-232接口,用戶可以設置各種參數(shù)RS-232。
* 放氣閥控制設置。
* 正常泵速顯示。
* 準備轉速顯示。
* 功耗。
* 泵溫。
增強型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。
EXT255DX Edwards EXT復合渦輪分子泵
技術數(shù)據(jù)
前級泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。
* 超出該入口壓力時,轉速為額定轉速。
** 此時功率160W。
*** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時,泵速下降約10%。
前級泵為兩級旋片泵,并烘烤48小時。
Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時。
安裝尺寸
A 放氣口的手動放氣閥
B 電連接盒
C 邏輯接頭
D 前級泵接口
E 吹掃凈化口(空白)
F 插座
G 地線連接
EXT255DX渦輪分子泵特性曲線
訂貨信息
描述 | 貨號 |
EXT2555DX ISO100 | B753-11-000 |
EXT255DX CF100 | B753-12-000 |
EXT2555iDX ISO100 級間法蘭DN25NW | B753-13-000 |
TIC 渦輪控制器 200W RS232 | D397-12-000 |
TIC 渦輪儀表控制器 200W RS232 | D397-22-000 |