特點:
·儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
·光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高;
·儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。
主要技術(shù)指標:
測量范圍
薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10;
測量zui小值:≤1nm
入射光波長:632.8nm
光學中心高:80mm
允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:±0.5nm和±0.005
主機重量:25kg
入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°